| 目 录 | 第1-6页 |
| 第一章 综述 | 第6-23页 |
| ·引言 | 第6-9页 |
| ·ZnO 薄膜的用途 | 第9-12页 |
| ·ZnO 材料的基本特性 | 第12-14页 |
| ·ZnO 薄膜的生长方法 | 第14-18页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-23页 |
| 第二章 生长 ZnO 的 MOCVD 反应系统与 ZnO 紫外探测器测试系统 | 第23-37页 |
| ·技术简介 | 第23-26页 |
| ·ZnO MOCVD 生长源材料的选择 | 第26-28页 |
| ·用于 ZnO 生长的等离子增强 MOCVD 反应系统 | 第28-33页 |
| ·ZnO 基紫外探测器测试系统 | 第33-36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第三章 ZnO 薄膜的 MOCVD 生长及其相关研究 | 第37-67页 |
| ·c-Al2O3衬底上 ZnO 薄膜的生长和特性分析 | 第38-42页 |
| ·锌源温度的研究 | 第42-56页 |
| ·ZnO 退火气氛的研究 | 第56-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |
| 第四章 ZnO 基紫外探测器的制备与测试 | 第67-91页 |
| ·光电探测器的工作机理 | 第67-68页 |
| ·紫外探测器 | 第68-83页 |
| ·ZnO 紫外光电探测器的设计和制备 | 第83-85页 |
| ·ZnO 基紫外探测器的特性测试和分析 | 第85-89页 |
| ·小节 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-91页 |
| 论文总结 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第95-96页 |
| 中文摘要 | 第96-100页 |
| 英文摘要 | 第100-104页 |
