| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-17页 |
| ·论文背景及其意义 | 第9页 |
| ·激光干涉位移、角度测量的研究现状和发展趋势 | 第9-14页 |
| ·位移的单独测量 | 第9-12页 |
| ·角度测量方法 | 第12-14页 |
| ·论文主要研究内容和组织结构 | 第14-17页 |
| 第二章 基于法拉第旋光效应的激光外差干涉系统及构成 | 第17-26页 |
| ·系统构成 | 第17-19页 |
| ·基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的装置 | 第17页 |
| ·基于法拉第旋光效应的激光外差干涉纳米测量系统 | 第17-18页 |
| ·基于法拉第效应的激光外差双光路测量系统 | 第18-19页 |
| ·光学元件的机械零件设计 | 第19-24页 |
| ·分光镜的镜套设计 | 第19-20页 |
| ·角锥棱镜的镜套设计 | 第20页 |
| ·λ/4波片的镜套设计 | 第20-21页 |
| ·分光镜底座设计 | 第21页 |
| ·45°支架的设计 | 第21页 |
| ·高速接收器支架设计 | 第21-22页 |
| ·大反射镜支架设计 | 第22页 |
| ·双路的角锥棱镜拼接架设计 | 第22-23页 |
| ·大底板设计 | 第23页 |
| ·双镜联接固定板的设计 | 第23-24页 |
| ·单路的角锥棱镜随动式系统总设计 | 第24-25页 |
| ·双路的角锥棱镜随动式系统总设计 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 角锥棱镜固定式测量系统的优化 | 第26-45页 |
| ·测量条件 | 第26-36页 |
| ·数学模型 | 第26-30页 |
| ·激光束f_2从角锥棱镜R顺利出射的条件 | 第30-31页 |
| ·角锥棱镜不阻挡第二次反射光线的条件 | 第31-33页 |
| ·测量连续性条件 | 第33-34页 |
| ·测量平面镜旋转不碰到角锥棱镜的条件 | 第34页 |
| ·第二次反射的光线返回λ/4波片的条件 | 第34-36页 |
| ·位移角度测量范围 | 第36-42页 |
| ·系统优化分析 | 第42-44页 |
| ·Ls的优化 | 第42-43页 |
| ·α的优化 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 角锥棱镜随动式测量系统的优化 | 第45-71页 |
| ·测量条件 | 第45页 |
| ·测量镜顺时针旋转几何关系推导及光程差 | 第45-50页 |
| ·测量镜逆时针旋转几何关系推导及光程差 | 第50-62页 |
| ·光束射在角锥棱镜的左半面 | 第51-55页 |
| ·光束射在角锥棱镜的右半面且在c_1左侧 | 第55-58页 |
| ·光束射在角锥棱镜的右半面且在c_1右侧 | 第58-62页 |
| ·系统可测位移范围可至无穷远 | 第62-63页 |
| ·系统参数的选择 | 第63-67页 |
| ·测量镜顺时针旋转 | 第63-65页 |
| ·测量镜逆时针旋转 | 第65-67页 |
| ·系统参数的优化与转角测量范围仿真 | 第67-70页 |
| ·α值对系统测量范围曲线图的影响 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 系统实验与误差分析 | 第71-85页 |
| ·单路的位移测量实验 | 第71-77页 |
| ·实验装置 | 第71-72页 |
| ·系统稳定性实验 | 第72-73页 |
| ·θ=0°的位移测量实验 | 第73-75页 |
| ·θ=2°的位移测量实验 | 第75-77页 |
| ·角度测量实验 | 第77-81页 |
| ·x=0的角度测量及角度范围的误差分析 | 第77-79页 |
| ·x=1μm时的角度测量 | 第79-81页 |
| ·双光路的角度测量实验 | 第81-84页 |
| ·实验装置 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| ·总结 | 第85-86页 |
| ·展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第92页 |