| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| ·自适应光学的发展历程与应用 | 第8-11页 |
| ·动态干扰--光学技术的老问题 | 第8-9页 |
| ·自适应光学技术使光学系统具有能动可变的能力 | 第9-11页 |
| ·自适应光学的应用 | 第11页 |
| ·微机电系统技术与自适应光学 | 第11-14页 |
| ·自适应光学系统的组成 | 第11-12页 |
| ·变形镜 | 第12-13页 |
| ·变形镜技术的现状 | 第13页 |
| ·微机电技术推动自适应光学技术的发展 | 第13-14页 |
| ·本文的研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 微变形镜的理论研究 | 第15-41页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·近场(NEAR FIELD)衍射和远场(FAR FIELD)衍射 | 第15-16页 |
| ·衍射极限(DIFFRACTION LIMIT) | 第16-17页 |
| ·自适应光学的性能指标 | 第17-19页 |
| ·斯特列尔比(Strehl Ratio) | 第17页 |
| ·适配误差(Fitting Error) | 第17-19页 |
| ·微变形镜的分类 | 第19-22页 |
| ·活塞驱动式 | 第20页 |
| ·扭转梁式 | 第20-21页 |
| ·悬臂梁式 | 第21-22页 |
| ·静电力驱动(ELECTROSTATIC ACTUATION) | 第22-32页 |
| ·平板电容式(Parallel Plate) | 第22-26页 |
| ·纵向梳齿式(Vertical Comb) | 第26-29页 |
| ·平板电容式和纵向梳齿式驱动能力的比较 | 第29-31页 |
| ·数字微镜技术 | 第31-32页 |
| ·弹性梁理论(FLEXURE BEAM THEORY) | 第32-38页 |
| ·端端固定式(Fixed to Fixed) | 第32-34页 |
| ·蟹臂式(Crab Leg) | 第34-38页 |
| ·挤压薄膜阻尼(SQUEEZE FILM DAMPING) | 第38-40页 |
| ·滑流效应(Slip Flow Effect) | 第38-39页 |
| ·雷诺兹方程(Reynolds Equation) | 第39-40页 |
| ·穿孔(Perforation)对挤压薄膜阻尼的影响 | 第40页 |
| 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 微变形镜的加工工艺 | 第41-52页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·体加工(BULK MICROMACHING) | 第41-43页 |
| ·湿法刻蚀(Wet Etching) | 第41-43页 |
| ·干法刻蚀(Dry Etching) | 第43页 |
| ·表面加工(SURFACE MICROMACHINING) | 第43-47页 |
| ·MUMPs工艺 | 第45-46页 |
| ·SUMMiT工艺 | 第46-47页 |
| ·体加工和表面加工微变形镜的比较 | 第47-48页 |
| ·微变形镜的结构设计与版图设计 | 第48-51页 |
| 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 微变形镜的分析 | 第52-68页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·静态分析(STATIC ANALYSIS) | 第52-58页 |
| ·蟹臂梁弹性系数的计算 | 第52页 |
| ·静态响应曲线 | 第52-58页 |
| ·模态分析(MODAL ANALYSIS) | 第58-61页 |
| ·瞬态分析(TRANSIENT ANALYSIS) | 第61-64页 |
| ·频率响应(FREQUENCY RESPONSE) | 第64-65页 |
| ·远场光学特性 | 第65-67页 |
| 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论与建议 | 第68-70页 |
| 结论 | 第68页 |
| 建议 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 附录 | 第75-89页 |
| 附录1: 静态分析使用的MATLAB和ANSYS程序 | 第75-81页 |
| 附录2: 进行模态分析的ANSYS程序 | 第81-83页 |
| 附录3: 瞬态分析使用的程序 | 第83-84页 |
| 附录4: 频域分析使用的程序 | 第84页 |
| 附录5: 远场光学特性使用的MATLAB程序 | 第84-89页 |
