多弧离子镀制备装饰TiN薄膜及其颜色和性能的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·颜色的产生和测量 | 第11-14页 |
| ·可见光 | 第11页 |
| ·色度学 | 第11-13页 |
| ·颜色的喜好 | 第13-14页 |
| ·真空离子镀膜技术 | 第14-18页 |
| ·多弧离子镀 | 第15-18页 |
| ·TiN 薄膜的制备与性能 | 第18-20页 |
| ·TiN 薄膜的制备工艺 | 第18-20页 |
| ·TiN 薄膜的性能 | 第20页 |
| ·研究目的及内容 | 第20-22页 |
| 第二章 实验设备及性能测试仪器 | 第22-31页 |
| ·AIP-01 型多弧离子镀膜机 | 第22-26页 |
| ·超声波清洗设备 | 第26页 |
| ·薄膜的颜色及测量方法 | 第26-28页 |
| ·薄膜的硬度及测试方法 | 第28页 |
| ·划痕法测定薄膜的结合力 | 第28-29页 |
| ·扫描电镜（SEM）分析 | 第29页 |
| ·X-射线衍射（XRD）分析 | 第29-31页 |
| 第三章 氮气流量对颜色和性能的影响 | 第31-54页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·试验过程 | 第31页 |
| ·试验现象和分析 | 第31-52页 |
| ·大颗粒对颜色性能的影响 | 第31-39页 |
| ·氮气流量对薄膜颜色的影响 | 第39-43页 |
| ·氮气流量对薄膜表面形貌的影响 | 第43-48页 |
| ·氮气流量对薄膜硬度的影响 | 第48-50页 |
| ·不同氮气流量下的 X 射线衍射分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 钛靶电流对颜色和性能的影响 | 第54-65页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·试验过程 | 第54-55页 |
| ·试验现象和分析 | 第55-64页 |
| ·靶磁场对薄膜颜色及性能的影响 | 第55-57页 |
| ·靶电流对薄膜颜色的影响 | 第57-61页 |
| ·靶电流对薄膜表面形貌的影响 | 第61-62页 |
| ·靶电流对薄膜硬度的影响 | 第62-63页 |
| ·不同靶电流下的 X 射线衍射分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 偏压对颜色和性能的影响 | 第65-75页 |
| ·引言 | 第65-68页 |
| ·离子轰击在薄膜沉积前的影响 | 第65-66页 |
| ·离子轰击对膜基界面的影响 | 第66-67页 |
| ·离子轰击在薄膜沉积时的影响 | 第67-68页 |
| ·试验过程 | 第68-69页 |
| ·试验现象和分析 | 第69-74页 |
| ·偏压对薄膜结合力的影响 | 第69-71页 |
| ·偏压对薄膜颜色的影响 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 答辩委员会对论文的评适意见 | 第82页 |
