射频电源自动阻抗匹配器的开发和实验研究
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第11-12页 |
| ·阻抗匹配技术的发展与应用 | 第12-19页 |
| ·射频电源阻抗匹配器的技术动态 | 第12-13页 |
| ·国外匹配器的技术的发展状况 | 第13-17页 |
| ·国内匹配器的技术的发展状况 | 第17-19页 |
| ·本文的内容简介 | 第19-20页 |
| 第2章 阻抗匹配器的设计 | 第20-32页 |
| ·阻抗匹配技术概述 | 第20-26页 |
| ·匹配的原理和分类 | 第20-22页 |
| ·Smith圆图设计的介绍 | 第22-26页 |
| ·匹配网络的分类及匹配原理 | 第26-29页 |
| ·L型匹配网络 | 第27页 |
| ·π型匹配网络 | 第27-28页 |
| ·T型匹配网络 | 第28-29页 |
| ·各个模块设计原理 | 第29-32页 |
| 第3章 功率检测模块的电路设计和分析 | 第32-62页 |
| ·射频和功率检测电路的设计概要 | 第32-35页 |
| ·射频电路的设计 | 第32-33页 |
| ·功率计测量原理与技术现状 | 第33-34页 |
| ·射频通过式功率计电路的设计概要 | 第34-35页 |
| ·互感器的设计 | 第35-44页 |
| ·电流互感器 | 第35-40页 |
| ·电压互感器 | 第40-44页 |
| ·功率检测装置 | 第44-56页 |
| ·定向耦合器 | 第44-50页 |
| ·检波电路 | 第50-55页 |
| ·滤波器 | 第55-56页 |
| ·匹配装置涉及的其他参数及部件 | 第56-62页 |
| ·自偏压 | 第56-57页 |
| ·驻波比SWER | 第57-59页 |
| ·同轴电缆及连接头 | 第59-62页 |
| 第4章 匹配器的其他模块的设计和分析 | 第62-72页 |
| ·匹配器的电感 | 第62-63页 |
| ·匹配器的电容 | 第63-65页 |
| ·信号转换模块 | 第65-68页 |
| ·A/D转换接口电路 | 第65-67页 |
| ·D/A转换接口电路 | 第67-68页 |
| ·传动模块 | 第68-69页 |
| ·计算机算法 | 第69-72页 |
| 第5章 PID数学模型的建立 | 第72-86页 |
| ·PID的介绍 | 第72-74页 |
| ·课题被控对象的数学模型的建立 | 第74-82页 |
| ·匹配器参数的定性和定量关系分析研究 | 第74-75页 |
| ·传递函数的推导 | 第75-82页 |
| ·匹配网络的PID控制 | 第82-85页 |
| ·PID算法和MATLAB编程 | 第82-84页 |
| ·图形和模型 | 第84-85页 |
| ·小结 | 第85-86页 |
| 第6章 结论 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第95页 |
