基于仿真的半导体物料搬运系统调度优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·课题背景和研究意义 | 第9-10页 |
| ·半导体晶圆制造工艺流程 | 第10-12页 |
| ·半导体自动物料搬运系统 | 第12-17页 |
| ·物料搬运系统概述 | 第12-14页 |
| ·物料搬运系统组成 | 第14-15页 |
| ·物料搬运系统类型 | 第15-16页 |
| ·半导体自动物料搬运系统调度的重要性 | 第16-17页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第17-22页 |
| ·AMHS 系统建模的方法研究 | 第17-19页 |
| ·AMHS 系统布置方式的研究 | 第19-20页 |
| ·AMHS 系统的调度问题的研究 | 第20-22页 |
| ·研究现状总结 | 第22页 |
| ·研究目的与内容 | 第22-23页 |
| ·章节安排 | 第23-25页 |
| 第二章 仿真建模与半导体调度基础理论 | 第25-32页 |
| ·仿真方法 | 第25-29页 |
| ·概述 | 第25-26页 |
| ·仿真模型分类 | 第26-27页 |
| ·仿真建模理论 | 第27-29页 |
| ·半导体制造系统调度 | 第29-31页 |
| 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 基于仿真优化的物料搬运系统动态调度框架 | 第32-44页 |
| ·系统仿真建模 | 第32-40页 |
| ·模型假设 | 第33-34页 |
| ·输入 | 第34页 |
| ·仿真模型 | 第34-36页 |
| ·控制与输出 | 第36页 |
| ·仿真模型的开发 | 第36-40页 |
| ·基于仿真的优化算法 | 第40-43页 |
| ·仿真优化方法概述 | 第40-41页 |
| ·基于仿真的遗传优化算法 | 第41-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 物料搬运系统动态调度 | 第44-64页 |
| ·运输系统动态调度方案 | 第44-49页 |
| ·研究假设 | 第44-45页 |
| ·系统性能指标选择 | 第45-46页 |
| ·自动物料搬运系统动态调度方案 | 第46-49页 |
| ·响应面优化方法 | 第49-50页 |
| ·基于仿真的遗传算法设计与实现 | 第50-52页 |
| ·数值实验与优化结果对比 | 第52-63页 |
| ·仿真基本数据设计 | 第52-53页 |
| ·响应面优化结果分析 | 第53-57页 |
| ·遗传算法优化 | 第57-59页 |
| ·调度结果对比 | 第59-63页 |
| 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 作业任务与物料搬运系统的集成动态调度 | 第64-76页 |
| ·集成动态调度方案设计 | 第64-68页 |
| ·研究假设修正 | 第64-65页 |
| ·集成动态调度方案 | 第65-68页 |
| ·基于仿真的遗传算法的设计与实现 | 第68-69页 |
| ·优化结果对比 | 第69-75页 |
| 本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 结论与展望 | 第76-79页 |
| ·结论 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第85页 |
