| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| ·SnO_2 类薄膜 | 第10-19页 |
| ·TCO 薄膜 | 第10-11页 |
| ·SnO_2 类TCO 薄膜 | 第11-13页 |
| ·SnO_2 薄膜的应用 | 第13-16页 |
| ·SnO_2 类薄膜的制备 | 第16-19页 |
| ·薄膜的硬度 | 第19-25页 |
| ·研究薄膜硬度意义 | 第19-20页 |
| ·测试薄膜硬度的方法分类 | 第20-22页 |
| ·测试薄膜硬度的仪器 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第2章 SnO_2类薄膜材料硬度的第一性原理计算 | 第26-34页 |
| ·计算中的理论基础及算法 | 第26-27页 |
| ·计算模型的建立和计算参数的选择 | 第27-29页 |
| ·SnO_2 类薄膜的成分设计 | 第27页 |
| ·SnO_2 及SnO_2：Sb 等模型的建 | 第27-29页 |
| ·实验参数的选定 | 第29页 |
| ·计算结果分析 | 第29-33页 |
| ·晶格常数的变化 | 第29-30页 |
| ·能量的变化 | 第30页 |
| ·硬度的计算 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 用原位纳米测试系统测试SnO_2薄膜材料的硬度 | 第34-65页 |
| ·测试薄膜所用的设备与方法 | 第34-39页 |
| ·薄膜的成分分析 | 第34-35页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第35-36页 |
| ·薄膜厚度的分析 | 第36页 |
| ·薄膜表面形貌的分析 | 第36-39页 |
| ·用原位纳米测试系统测试样品的薄膜硬度 | 第39-49页 |
| ·用原子力显微镜观察样品样品的表面形貌 | 第40-42页 |
| ·测试样品的薄膜硬度 | 第42-49页 |
| ·用弹性球模型分离样品薄膜的硬度 | 第49-54页 |
| ·用 PVD 法制备的 SnO_2 薄膜的硬度测试 | 第54-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 在攻读硕士学位期间承担的科研任务与研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |