| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1.绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 MOCVD概述 | 第9-14页 |
| 1.2 MOCVD加热系统 | 第14-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 本文的研究目的和意义 | 第18-19页 |
| 1.5 本文研究的主要内容和方法 | 第19-20页 |
| 2.数学与物理模型 | 第20-33页 |
| 2.1 模拟理论基础 | 第20-22页 |
| 2.2 有限元方法介绍 | 第22-24页 |
| 2.3 控制方程和边界条件 | 第24-27页 |
| 2.4 仿真模型的建立 | 第27-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 3.热部件的研究与优化 | 第33-57页 |
| 3.1 模型验证与结果分析 | 第33-36页 |
| 3.2 加热器输入电流对温度场的影响 | 第36-39页 |
| 3.3 电阻片加热器结构与位置的研究 | 第39-51页 |
| 3.4 反射板的研究 | 第51-54页 |
| 3.5 热部件的优化与模拟结果分析 | 第54-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 4总结与展望 | 第57-59页 |
| 4.1 总结 | 第57-58页 |
| 4.2 今后工作的建议及展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |