| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征方法 | 第15-20页 |
| 2.1 薄膜的制备方法 | 第15-16页 |
| 2.2 本文采用的多腔室磁控溅射简介 | 第16-17页 |
| 2.3 薄膜表征方法 | 第17-20页 |
| 第三章 ZnO薄膜表面形貌修饰研究 | 第20-29页 |
| 3.1 AZO薄膜制备 | 第20页 |
| 3.2 制备工艺对ZnO薄膜形貌的影响 | 第20-24页 |
| 3.2.1 溅射功率影响 | 第20-22页 |
| 3.2.2 溅射气压的影响 | 第22-23页 |
| 3.2.3 工艺优化 | 第23-24页 |
| 3.3 酸与AZO表面反应原理 | 第24页 |
| 3.4 HCl刻蚀对ZnO薄膜形貌的影响 | 第24-27页 |
| 3.5 HCl+磷酸刻蚀对ZnO薄膜形貌的影响 | 第27页 |
| 3.6 退火工艺对ZnO薄膜形貌的影响 | 第27-29页 |
| 第四章 基于ZnO透明导电层太阳能电池研究 | 第29-52页 |
| 4.1 太阳能电池结构及工作原理 | 第29-31页 |
| 4.1.1 太阳能电池结构 | 第29-30页 |
| 4.1.2 非晶硅太阳能电池工作原理 | 第30-31页 |
| 4.2 非晶硅太阳能电池的制备 | 第31-44页 |
| 4.2.1 p型SiC窗口层薄膜制备 | 第31-36页 |
| 4.2.2 本征层非晶硅薄膜制备 | 第36-41页 |
| 4.2.3 N型c-Si薄膜制备技术的研究 | 第41-43页 |
| 4.2.4 Al背电极薄膜制备 | 第43-44页 |
| 4.3 AZO薄膜形貌对太阳能电池的影响 | 第44-52页 |
| 4.3.1 绒面陷光理论 | 第44-45页 |
| 4.3.2 AZO薄膜形貌 | 第45-49页 |
| 4.3.3 不同ZnO薄膜绒面结构对太阳能电池影响 | 第49-52页 |
| 第五章 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 致谢 | 第59页 |