| Abstract | 第6-7页 |
| 摘要 | 第8-15页 |
| Table of Major Symbols and Units | 第15-16页 |
| 1 Introduction | 第16-37页 |
| 1.1 Applications of Low Temperature Plasmas | 第17-19页 |
| 1.2 Gas Discharge Plasma Parameters | 第19-21页 |
| 1.2.1 Neutral Gas Pressure | 第19页 |
| 1.2.2 Driving Power | 第19-21页 |
| 1.3 Different RF-Plasma Sources | 第21-26页 |
| 1.3.1 Helicon Plasma Sources | 第21-22页 |
| 1.3.2 ECR Plasma Sources | 第22-23页 |
| 1.3.3 ICP Sources | 第23-24页 |
| 1.3.4 CCP Sources | 第24-26页 |
| 1.4 Electron Heating Modes in CCPs | 第26-29页 |
| 1.5 Studies on CCPs | 第29-35页 |
| 1.5.1 Experimental Studies | 第29-31页 |
| 1.5.2 Theoretical and Simulations Studies | 第31-35页 |
| 1.6 Motivation | 第35-36页 |
| 1.7 Organization of Dissertation | 第36-37页 |
| 2 Fluid Model | 第37-46页 |
| 2.1 Introduction | 第37页 |
| 2.2 Model | 第37-42页 |
| 2.2.1 Description of the Problem | 第37-38页 |
| 2.2.2 Assumptions | 第38-39页 |
| 2.2.3 Reactions | 第39-40页 |
| 2.2.4 Equations | 第40-42页 |
| 2.3 1D Model | 第42-45页 |
| 2.4 Chapter Summary | 第45-46页 |
| 3 Effect of Driving Frequency on Electron Heating in CCPs | 第46-69页 |
| 3.1 Introduction | 第46-47页 |
| 3.2 Results and Discussion | 第47-60页 |
| 3.2.1 Electron Pressure and Ohmic Heating | 第53-57页 |
| 3.2.2 Electron Energy Transfer Mechanism | 第57-60页 |
| 3.4 Electron Power Mechanism at Different Stages | 第60-67页 |
| 3.4.1 Early Stage at 500th RF Cycle | 第61-64页 |
| 3.4.2 Later Stage at 2500th RF Cycle | 第64-67页 |
| 3.5 Chapter Summary | 第67-69页 |
| 4 Effect of Neutral Gas Pressure on CCPs | 第69-87页 |
| 4.1 Introduction | 第69-71页 |
| 4.2 Simulation Results | 第71-85页 |
| 4.2.1 Electron Energy Transfer Mechanism | 第73-80页 |
| 4.2.2 Ionization and Excitation Rates | 第80-81页 |
| 4.2.3 Temporal Evolution of Electron Density | 第81-85页 |
| 4.3 Chapter Summary | 第85-87页 |
| 5 Electron Heating Mechanism in CCP | 第87-95页 |
| 5.1 Introduction | 第87-88页 |
| 5.2 Simulation Results | 第88-94页 |
| 5.2.1 Electric Field Evolutions | 第88-89页 |
| 5.2.2 Electron Heating and Ionization Rates Evolutions | 第89-92页 |
| 5.2.3 Evolutions of Electron Ohmic and Pressure Heating | 第92-94页 |
| 5.3 Chapter Summary | 第94-95页 |
| 6 Conclusions | 第95-97页 |
| 7 Abstract of Innovation Points | 第97-98页 |
| References | 第98-118页 |
| Appendix | 第118-127页 |
| Publications during PhD Period | 第127-128页 |
| Acknowledgement | 第128-129页 |
| Curriculum Vitae | 第129页 |
