| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号对照表 | 第12-14页 |
| 缩略语对照表 | 第14-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-23页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第17-18页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第17页 |
| 1.1.2 研究目的和意义 | 第17-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.1 温度补偿晶体振荡器的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2.2 石英晶体有限元分析研究现状 | 第20-21页 |
| 1.3 研究内容和章节安排 | 第21-23页 |
| 第二章 晶体谐振器在有限元中分析的理论基础 | 第23-39页 |
| 2.1 晶体谐振器的振动模态 | 第23-25页 |
| 2.2 应力处理的特性依据 | 第25-31页 |
| 2.2.1 温度-频率特性 | 第25-30页 |
| 2.2.2 力-频特性 | 第30-31页 |
| 2.3 晶体谐振器的有限元仿真算法 | 第31-38页 |
| 2.3.1 晶体谐振器的压电方程 | 第31-36页 |
| 2.3.2 有限元压电耦合场算法 | 第36-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 晶体谐振器的振动模态仿真 | 第39-55页 |
| 3.1 有限元仿真计算流程 | 第39-40页 |
| 3.2 建立晶体谐振器的ANSYS仿真模型 | 第40-44页 |
| 3.2.1 单元类型选择 | 第40-41页 |
| 3.2.2 材料属性设定 | 第41-42页 |
| 3.2.3 建立几何模型及网格划分 | 第42-44页 |
| 3.3 晶体谐振器的振动模态仿真 | 第44-54页 |
| 3.3.1 自由边界条件下的振动模态仿真 | 第44-47页 |
| 3.3.2 约束条件下的振动模态仿真 | 第47-48页 |
| 3.3.3 尺寸设计对振动模态影响的仿真 | 第48-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 应力处理晶体谐振器的设计与仿真 | 第55-67页 |
| 4.1 用ANSYS仿真验证力-频效应 | 第55-56页 |
| 4.2 应力处理温补晶振的方案研究 | 第56-63页 |
| 4.2.1 施加应力的方法 | 第56-57页 |
| 4.2.2 应力处理方案设计 | 第57-59页 |
| 4.2.3 应力对金属电极作用的力学模型分析 | 第59-63页 |
| 4.3 用ANSYS软件仿真应力处理下晶体谐振器的等效应力 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 应力处理温补晶振的实验及结果分析 | 第67-77页 |
| 5.1 实验准备工作 | 第67-68页 |
| 5.2 实验验证与数据分析 | 第68-71页 |
| 5.2.1 应力补偿前后温-频特性曲线的变化 | 第68-69页 |
| 5.2.2 逐次镀膜时温-频特性曲线的变化 | 第69-71页 |
| 5.3 实验中的主要影响因素 | 第71-75页 |
| 5.3.1 工艺对晶体参数的影响 | 第71-74页 |
| 5.3.2 应力释放效应 | 第74-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 研究总结 | 第77-78页 |
| 6.2 研究展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简介 | 第85-86页 |