| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第7-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 逐点扫描法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 相位测量法 | 第11-12页 |
| 1.2.3 干涉法 | 第12-16页 |
| 1.2.4 研究现状小结 | 第16-17页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 部分零位像散补偿型干涉检测技术基础理论 | 第19-29页 |
| 2.1 像散补偿理论 | 第19-23页 |
| 2.1.1 倾斜光焦度 | 第20-21页 |
| 2.1.2 科丁顿方程 | 第21-23页 |
| 2.2 最优化倾斜角 | 第23-25页 |
| 2.3 逆向优化重构技术 | 第25-28页 |
| 2.3.1 基于泽尼克多项式表征的自由曲面 | 第25-26页 |
| 2.3.2 逆向优化重构自由曲面面形 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 部分零位像散补偿型干涉检测系统 | 第29-42页 |
| 3.1 待测自由曲面面形分析 | 第29-32页 |
| 3.2 部分零位像散补偿型干涉系统光路构建 | 第32-35页 |
| 3.2.1 部分零位像散补偿型干涉光路整体布局 | 第32-33页 |
| 3.2.2 像散补偿光路设计 | 第33-35页 |
| 3.3 部分零位像散补偿型干涉检测系统精确建模 | 第35-38页 |
| 3.4 光学自由曲面面形重构算法 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 4 自由曲面面形重构算法仿真与干涉系统建模误差分析 | 第42-57页 |
| 4.1 自由曲面面形重构算法仿真分析 | 第42-45页 |
| 4.1.1 自由曲面面形重构算法仿真验证 | 第42-44页 |
| 4.1.2 自由曲面面形重构算法通用性分析 | 第44-45页 |
| 4.2 部分零位像散补偿型干涉检测系统建模误差分析 | 第45-56页 |
| 4.2.1 元件间隔误差分析 | 第45-48页 |
| 4.2.2 待测自由曲面倾斜角度误差分析 | 第48-49页 |
| 4.2.3 面形建模误差分析 | 第49-52页 |
| 4.2.4 待测自由曲面姿态建模误差分析 | 第52-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 部分零位像散补偿型干涉检测技术实验验证与误差分析 | 第57-64页 |
| 5.1 部分零位像散补偿型干涉检测系统实验布局 | 第57-59页 |
| 5.2 待测自由曲面面形误差重构 | 第59-63页 |
| 5.2.1 逆向优化重构待测自由曲面面形误差中的低频成分 | 第60页 |
| 5.2.2 高频回溯重构待测自由曲面面形误差中的高频成分 | 第60-63页 |
| 5.3 实验误差分析 | 第63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 本文工作的总结 | 第64-65页 |
| 6.2 本文的主要创新点 | 第65页 |
| 6.3 不足与展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71页 |
