切比雪夫多项式在圆柱面系统辅助装调中的应用研究
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 圆柱面检测概述 | 第11-15页 |
| 1.1.1 圆柱面面型描述及其应用 | 第11-12页 |
| 1.1.2 圆柱面检测方法 | 第12-15页 |
| 1.2 计算机辅助装调的发展 | 第15-17页 |
| 1.3 非圆口径系统中波前拟合函数的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 切比雪夫多项式在计算机辅助装调中的应用 | 第20-35页 |
| 2.1 计算机辅助装调的基本原理 | 第20-23页 |
| 2.2 波像差的切比雪夫多项式表示 | 第23-28页 |
| 2.2.1 波像差 | 第23-24页 |
| 2.2.2 泽尼克多项式 | 第24-25页 |
| 2.2.3 切比雪夫多项式 | 第25-26页 |
| 2.2.4 切比雪夫多项式系数求解 | 第26-28页 |
| 2.3 数值模拟 | 第28-34页 |
| 2.3.1 模拟改变单个失调量 | 第29-31页 |
| 2.3.2 模拟改变两个失调量 | 第31-32页 |
| 2.3.3 辅助装调验证 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 计算全息法检测圆柱面系统设计 | 第35-60页 |
| 3.1 计算全息图概述 | 第35-41页 |
| 3.1.1 计算全息图的定义 | 第36页 |
| 3.1.2 计算全息图的相位表达方式 | 第36-37页 |
| 3.1.3 计算全息图的几个重要参数 | 第37-41页 |
| 3.2 光路设计参数分析 | 第41-44页 |
| 3.2.1 计算全息图功能分析 | 第41-42页 |
| 3.2.2 计算全息图参数分析 | 第42-43页 |
| 3.2.3 检测光路的选择 | 第43-44页 |
| 3.3 检测系统设计 | 第44-51页 |
| 3.3.1 校准光路的初步设计 | 第45-46页 |
| 3.3.2 检测光路的设计 | 第46-49页 |
| 3.3.3 校准光路的设计 | 第49-51页 |
| 3.3.4 计算全息图的设计结果 | 第51页 |
| 3.4 计算全息图的绘制 | 第51-54页 |
| 3.4.1 测试全息刻蚀条纹位置搜索 | 第51-53页 |
| 3.4.2 校准全息刻蚀条纹位置搜索 | 第53-54页 |
| 3.5 计算全息图制作 | 第54-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 圆柱面检测系统辅助装调实验 | 第60-70页 |
| 4.1 Zygo干涉仪和圆柱面检测系统的介绍 | 第60-63页 |
| 4.2 圆柱面检测实验 | 第63-65页 |
| 4.3 辅助装调实验结果 | 第65-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 本文主要工作 | 第70-71页 |
| 5.2 工作展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
