超精密硅片用新型压电式三向磨削测力仪研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题来源及意义 | 第8-9页 |
| ·课题的研究背景 | 第9-15页 |
| ·超精密磨削技术及监测技术现状 | 第9-10页 |
| ·国内外磨削测力仪及监测装置研究现状 | 第10-15页 |
| ·课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 磨削测力仪总体方案 | 第16-27页 |
| ·压电效应机理 | 第16-20页 |
| ·石英晶片压电效应 | 第16-17页 |
| ·压电效应方程式 | 第17-18页 |
| ·压电传感器的设计 | 第18-20页 |
| ·总体设计方案 | 第20-26页 |
| ·磨削测力仪的结构设计及优化 | 第20-21页 |
| ·磨削测力仪的静动态标定 | 第21-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 磨削测力仪的设计 | 第27-46页 |
| ·传感器三向测力原理 | 第27-29页 |
| ·传感器装配工艺规程 | 第29-31页 |
| ·传感器的布置方式及石英晶片选择 | 第31-35页 |
| ·传感器的布置方式分析与选择 | 第31-34页 |
| ·石英晶片尺寸的确定 | 第34-35页 |
| ·磨削力测量装置及测力仪壳体结构的设计 | 第35-40页 |
| ·磨削力测量装置的设计 | 第35-37页 |
| ·测力仪壳体结构的设计及参数选择 | 第37-40页 |
| ·测力仪预紧方案选择 | 第40-43页 |
| ·预紧方案的选择 | 第40-42页 |
| ·预紧力的计算 | 第42-43页 |
| ·量程计算 | 第43-44页 |
| ·切向力作用点位置对测量结果的影响 | 第43-44页 |
| ·切向力取值 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 4 测力仪性能标定与实测 | 第46-67页 |
| ·静态标定 | 第46-57页 |
| ·轴向力、径向力和切向力的标定 | 第47-51页 |
| ·误差分析 | 第51-53页 |
| ·轴向力、径向力和切向力的再标定 | 第53-57页 |
| ·动态标定 | 第57-59页 |
| ·实际磨削加工 | 第59-65页 |
| ·测量控制系统 | 第59页 |
| ·在线标定 | 第59-63页 |
| ·磨削实验 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 附录A 实物照片 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
