| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·表面微观形貌测量技术的发展历程及国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·微表面三维形貌检测的意义 | 第10页 |
| ·微表面三维形貌的测量方法 | 第10-14页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第11-12页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第12-13页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第13页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第13-14页 |
| ·其它光学轮廓检测方法 | 第14页 |
| ·微观表面形貌测量技术研究现状及发展趋势 | 第14页 |
| ·本论文的目的及内容 | 第14-16页 |
| 第2章 白光相移干涉显微测量系统设计 | 第16-27页 |
| ·白光相移干涉显微测量系统总体结构 | 第16页 |
| ·光源的选定 | 第16-18页 |
| ·显微物镜的选定 | 第18页 |
| ·探测器CCD的选定 | 第18-19页 |
| ·干涉光路的平衡设计 | 第19-20页 |
| ·干涉系统的光能计算 | 第20-22页 |
| ·光学系统中光能的损失 | 第20-21页 |
| ·干涉系统中光能阈值 | 第21-22页 |
| ·PZT微纳定位扫描系统的设计 | 第22-26页 |
| ·单片机系统设计 | 第23-24页 |
| ·驱动电源设计 | 第24页 |
| ·传感器及检测系统 | 第24-25页 |
| ·串口通信 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 快速FFT的分块算法实现 | 第27-35页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·算法原理 | 第27-34页 |
| ·一维FFT变换的分块矩阵法 | 第27-31页 |
| ·二维快速FFT变换的分块矩阵法 | 第31-33页 |
| ·三维快速FFT的分块变换算法 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 表面微观形貌表征方法研究 | 第35-47页 |
| ·表面形貌二维表征方法—2D-Motif表征法 | 第35-39页 |
| ·2D-Motif的定义 | 第35-36页 |
| ·2D-Motif表征法的评定参数体系 | 第36-37页 |
| ·2D-Motif表征法的评定合并规则 | 第37-38页 |
| ·2D-Motif表征法与中线制表征法分析比较 | 第38-39页 |
| ·表面形貌三维表征方法 | 第39-46页 |
| ·3D-Motif表征法 | 第39-42页 |
| ·三维分形表征法 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 30CrMnSiA合金断口表面三维测量及表征分析 | 第47-70页 |
| ·整个干涉测量系统 | 第47页 |
| ·基于白光干涉术的测量算法 | 第47-48页 |
| ·白光相移干涉系统的三维测量步骤 | 第48-50页 |
| ·金属断口表面微观三维测量、重建及表征分析 | 第50-69页 |
| ·金属断口的产生及微观分类 | 第50-54页 |
| ·30CrMnSiA合金断口表面微观三维重建 | 第54-57页 |
| ·30CrMnSiA合金断口表征分析 | 第57-69页 |
| ·本章总结 | 第69-70页 |
| 第6章 工作总结与展望 | 第70-71页 |
| ·全文的工作总结 | 第70页 |
| ·论文的创新点 | 第70页 |
| ·后续工作的设想 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 作者攻读硕士期间发表的学术论文 | 第77-78页 |