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不同基底上CVD法制备石墨烯薄膜的工艺及结构表征

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第10-32页
    1.1 石墨烯概述第10-23页
        1.1.1 石墨烯的结构第11-12页
        1.1.2 石墨烯的性质与应用第12-19页
        1.1.3 石墨烯的制备方法第19-23页
    1.2 CVD法制备石墨烯概述第23-30页
        1.2.1 CVD法制备石墨烯第23-26页
        1.2.2 CVD法制备的石墨烯的典型表征手段第26-30页
    1.3 本课题的研究内容与目的第30-32页
第二章 实验部分第32-46页
    2.1 实验原料与试剂第32页
    2.2 实验设备与仪器第32-33页
    2.3 CVD法合成石墨烯薄膜的过程第33-37页
        2.3.1 石墨烯在铜箔上的催化生长及转移过程第33-36页
        2.3.2 石墨烯在二氧化硅基底上的无催化生长第36-37页
    2.4 测试表征手段第37-46页
        2.4.1 X射线衍射分析(XRD)第37-39页
        2.4.2 光学显微镜第39页
        2.4.3 扫描电子显微镜(SEM)第39-40页
        2.4.4 原子力显微镜(AFM)第40-41页
        2.4.5 激光拉曼光谱分析(Raman Spectroscopy)第41-42页
        2.4.6 X光电子能谱分析(XPS)第42-43页
        2.4.7 薄膜导电性分析第43-44页
        2.4.8 薄膜透光率分析第44-46页
第三章 铜基底上催化生长的石墨烯的结构表征分析第46-56页
    3.1 表面微观形貌分析第46-48页
    3.2 拉曼光谱分析第48-50页
    3.3 薄膜透光率测试第50-51页
    3.4 薄膜电阻测试第51-53页
    3.5 小结第53-56页
第四章 二氧化硅基底上无催化生长的石墨烯的表征分析第56-64页
    4.1 表面形貌分析第56-57页
    4.2 拉曼光谱分析第57-60页
    4.3 XPS分析第60-62页
    4.4 小结第62-64页
第五章 结论与展望第64-66页
    5.1 结论第64-65页
    5.2 课题展望第65-66页
参考文献第66-74页
致谢第74-75页
攻读硕士期间发表的论文及研究成果第75页

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