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反应磁控溅射制备氧化亚铜薄膜的结构调控及光电性能研究

摘要第11-13页
Abstract第13-15页
第一章 绪论第16-34页
    1.1 研究背景第16-17页
    1.2 半导体电池工作原理及发展现状第17-20页
        1.2.1 半导体电池工作原理第17-19页
        1.2.2 半导体电池发展现状第19-20页
    1.3 氧化亚铜的性质和制备第20-26页
        1.3.1 金属氧化物太阳能电池第20-22页
        1.3.2 氧化亚铜的基本性质第22-23页
        1.3.3 氧化亚铜的制备方法第23-26页
    1.4 磁控溅射制备氧化亚铜薄膜第26-28页
        1.4.1 磁控溅射原理第26-27页
        1.4.2 掺杂对磁控溅射制备氧化亚铜薄膜的影响第27-28页
    1.5 氧化亚铜应用第28-31页
        1.5.1 氧化亚铜在太阳能电池领域的应用与进展第28-30页
        1.5.2 氧化亚铜在光催化领域的应用与进展第30-31页
    1.6 本论文的选题依据和主要研究内容第31-34页
        1.6.1 选题思想第31页
        1.6.2 研究内容第31-34页
第二章 样品制备与测试分析方法第34-40页
    2.1 氧化亚铜薄膜样品制备第34-36页
    2.2 样品表征测试分析方法第36-40页
        2.2.1 X射线衍射分析(XRD)第36-37页
        2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)第37页
        2.2.3 拉曼光谱分析第37页
        2.2.4 X射线光电子能谱分析(XPS)第37-38页
        2.2.5 光谱测试分析仪第38页
        2.2.6 光致发光(PL)光谱第38页
        2.2.7 霍尔效应第38-40页
第三章 氧化亚铜薄膜制备与基本结构表征第40-56页
    3.1 引言第40页
    3.2 实验制备条件第40-41页
    3.3 实验结果与讨论第41-53页
        3.3.1 薄膜成分分析与形貌分析第41-48页
        3.3.2 拉曼结果分析第48-51页
        3.3.3 氧化亚铜薄膜的光学性质第51-53页
        3.3.4 氧化亚铜薄膜的电学性能第53页
    3.4 本章小结第53-56页
第四章 Na掺杂对氧化亚铜薄膜结构与电学性能的影响第56-72页
    4.1 引言第56页
    4.2 实验制备条件第56-57页
    4.3 退火对氧化亚铜薄膜影响第57-61页
        4.3.1 退火处理对氧化亚铜薄膜相组成的影响第57-59页
        4.3.2 退火处理对氧化亚铜薄膜表面形貌的影响第59页
        4.3.3 退火处理对氧化亚铜薄膜电学性能的影响第59-61页
    4.4 Na掺杂对氧化亚铜薄膜结构和性能的影响第61-71页
        4.4.1 两种Na掺杂方式对氧化亚铜薄膜结构的影响第61-64页
        4.4.2 两种Na掺杂方式Na元素的分布第64-66页
        4.4.3 两种Na掺杂方式对氧化亚铜薄膜形貌的影响第66-68页
        4.4.4 两种Na掺杂方式的XPS元素分析第68-70页
        4.4.5 Na掺杂对氧化亚铜薄膜电学性能的影响第70-71页
    4.5 本章小结第71-72页
第五章 结论与展望第72-74页
    5.1 论文主要结论第72-73页
    5.2 论文创新点第73页
    5.3 论文完成过程中存在的不足和对未来的展望第73-74页
参考文献第74-82页
致谢第82-84页
附件第84页

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