高精度非球面轮廓仪检测系统的设计与实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.2 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 非球面测量基本理论 | 第14-21页 |
| 2.1 非球面基本理论 | 第14-15页 |
| 2.2 非球面检测方法 | 第15-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 轮廓仪检测系统需求分析 | 第21-31页 |
| 3.1 轮廓测量设计标准 | 第21-22页 |
| 3.2 非球面元件的加工质量评价 | 第22页 |
| 3.3 轮廓检测数学模型分析 | 第22-24页 |
| 3.4 轮廓测量的误差分析 | 第24-29页 |
| 3.4.1 数学模型的误差分析 | 第24-25页 |
| 3.4.2 坐标系不重合误差 | 第25-28页 |
| 3.4.3 采样策略误差 | 第28-29页 |
| 3.4.4 软件处理误差 | 第29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 轮廓仪整体系统设计 | 第31-39页 |
| 4.1 轮廓仪总体结构 | 第31-34页 |
| 4.2 轮廓仪构件选择 | 第34-35页 |
| 4.3 轮廓仪的各部分概述 | 第35-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 轮廓仪的软件控制 | 第39-62页 |
| 5.1 轮廓测量流程 | 第39-41页 |
| 5.2 轮廓仪的电控系统 | 第41-43页 |
| 5.2.1 数据采集 | 第42-43页 |
| 5.2.2 电机驱动 | 第43页 |
| 5.3 软件系统的开发 | 第43-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 6.1 总结 | 第62页 |
| 6.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
