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15×15μm~2多层微测辐射热计的结构设计

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 引言第10页
    1.2 微测辐射热计的研究发展历程第10-15页
        1.2.1 微测辐射热计的发展现状与趋势第11-13页
        1.2.2 微测辐射热计的仿真设计模型发展第13-15页
    1.3 本论文的结构安排和研究意义第15-17页
        1.3.1 论文意义第15-16页
        1.3.2 结构安排第16-17页
第二章 微测辐射热计概述及仿真建模第17-25页
    2.1 微测辐射热计的概述第17-20页
        2.1.1 微测辐射热计的工作原理第17-18页
        2.1.2 微测辐射热计的基本性能第18页
        2.1.3 微测辐射热计的主要性能指标参数第18-20页
    2.2 微测辐射热计设计建模仿真技术概述第20-24页
        2.2.1 微测辐射热计的设计仿真方法概述第20-21页
        2.2.2 微测辐射热计双层S型隐形桥腿模型的建立第21-22页
        2.2.3 微测辐射热计三层S型隐形桥腿模型的建立第22-24页
    2.3 本章小结第24-25页
第三章 微测辐射热计的力学有限元分析第25-40页
    3.1 微测辐射热计应力的来源分析第25页
    3.2 微测辐射热计“双层S型隐形桥腿模型”的应力分析第25-32页
        3.2.1 敏感层残余应力对模型的力学形变分析第26-28页
        3.2.2 电极层残余应力对模型的力学形变分析第28-30页
        3.2.3 支撑层残余应力对模型的力学形变分析第30-32页
    3.3 微测辐射热计“三层S型隐形桥腿模型”力学有限元分析第32-38页
        3.3.1 敏感层残余应力对模型的力学形变分析第33-34页
        3.3.2 电极层残余应力对模型的力学形变分析第34-36页
        3.3.3 支撑层残余应力对模型的力学形变分析第36-38页
    3.4 本章小结第38-40页
第四章 微测辐射热计的热学有限元分析第40-45页
    4.1 微测辐射热计“双层S型隐形桥腿模型”的热学分析第40-42页
        4.1.1 微测辐射热计的热学性能仿真第40-42页
        4.1.2 微测辐射热计的热时间常数计算第42页
    4.2 微测辐射热计“三层S型隐形桥腿模型”的热学分析第42-44页
        4.2.1 微测辐射热计的热学性能仿真第42-44页
        4.2.2 微测辐射热计的热时间常数计算第44页
    4.3 本章小结第44-45页
第五章 微测辐射热计的电学有限元分析第45-59页
    5.1 微测辐射热计“双层S型隐形桥腿模型”的电学分析第45-52页
        5.1.1 微测辐射热计的电学性能仿真第45-46页
        5.1.2 微测辐射热计的热电耦合仿真第46-48页
        5.1.3 初始电阻、器件TCR、N ETD的提取计算第48-52页
    5.2 微测辐射热计“三层S型隐形桥腿模型”的电学分析第52-58页
        5.2.1 微测辐射热计的电学性能仿真第52-53页
        5.2.2 微测辐射热计的热电耦合仿真第53-54页
        5.2.3 初始电阻、器件TCR、N ETD的提取计算第54-58页
    5.3 本章小结第58-59页
第六章 结论与展望第59-61页
    6.1 论文结论第59-60页
    6.2 未来展望第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-67页
攻读硕士学位期间取得的成果第67-68页

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