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Al2O3陶瓷表面铜金属化的研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-22页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 Al_2O_3陶瓷的基本特性第12-13页
    1.3 Al_2O_3陶瓷金属化研究现状第13-16页
        1.3.1 Al_2O_3陶瓷金属化方法第13-15页
        1.3.2 直接覆铜技术(DBC)的现状与发展趋势第15-16页
    1.4 Cu_2O薄膜制备研究现状第16-20页
        1.4.1 Cu_2O薄膜制备方法第16-19页
        1.4.2 电沉积法制备Cu_2O薄膜的现状与发展趋势第19-20页
    1.5 本文的研究目的和内容第20-22页
        1.5.1 研究目的第20页
        1.5.2 研究内容第20-22页
第二章 实验过程第22-25页
    2.1 实验主要原料及设备第22-23页
        2.1.1 实验主要原料第22页
        2.1.2 实验主要设备第22-23页
    2.2 材料的表征第23-25页
        2.2.1 X射线衍射仪(XRD)分析第23页
        2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)分析第23页
        2.2.3 大载荷划痕仪(RST)分析第23页
        2.2.4 万能材料试验机测试第23-25页
第三章 热氧化法制备Cu_2O薄膜及研究第25-30页
    3.1 引言第25页
    3.2 样品制备第25-26页
    3.3 结果分析第26-29页
        3.3.1 氧分压对Cu_2O薄膜的影响第26-27页
        3.3.2 氧化时间对Cu_2O薄膜的影响第27-29页
    3.4 本章小结第29-30页
第四章 电沉积法制备Cu_2O薄膜及研究第30-42页
    4.1 引言第30页
    4.2 样品制备第30-31页
    4.3 结果分析第31-40页
        4.3.1 pH值对Cu_2O薄膜的影响第31-34页
        4.3.2 电流密度对Cu_2O薄膜的影响第34-38页
        4.3.3 沉积时间对Cu_2O薄膜的影响第38-40页
    4.4 本章小结第40-42页
第五章 Al_2O_3陶瓷表面覆Cu的制备及研究第42-56页
    5.1 引言第42页
    5.2 样品制备第42-43页
    5.3 结果分析第43-54页
        5.3.1 Cu_2O薄膜形貌对Cu/Al_2O_3结合强度的影响第43-45页
        5.3.2 保温时间对Cu/Al_2O_3结合强度的影响第45-47页
        5.3.3 热氧化法与电沉积法制备的Cu/Al_2O_3结合强度对比第47-48页
        5.3.4 Cu/Al_2O_3中间结合层产物的分析第48-50页
        5.3.5 Cu/Al_2O_3界面孔洞的分析第50-54页
    5.4 本章小结第54-56页
第六章 全文总结与课题展望第56-59页
    6.1 全文总结第56-57页
    6.2 论文创新点第57页
    6.3 课题展望第57-59页
参考文献第59-64页
致谢第64-65页
在校期间研究成果及发表的学术论文第65页

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