| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 微纳结构气敏传感器发展概况 | 第8-10页 |
| 1.3 常用微纳结构气体传感器简介 | 第10-22页 |
| 1.4 研究目的及研究内容 | 第22-24页 |
| 2 蝶翅微纳结构的气敏检测与结构制备 | 第24-44页 |
| 2.1 蝶翅微纳结构气敏特性机理 | 第25-29页 |
| 2.2 Morpho蝶翅微纳结构有机气体气敏检测实验研究 | 第29-35页 |
| 2.3 仿Morpho蝶翅微纳结构模型气敏仿真计算 | 第35-39页 |
| 2.4 仿Morpho微纳结构制备及仿真分析 | 第39-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 3 半导体微纳结构的气敏检测与结构制备 | 第44-58页 |
| 3.1 ZnO半导体微纳结构气敏特性机理 | 第44-47页 |
| 3.2 ZnO纳米线气敏元件制备 | 第47-52页 |
| 3.3 ZnO微纳结构有机气体气敏检测实验研究 | 第52-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 总结与展望 | 第58-60页 |
| 4.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 4.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 附录I 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第66页 |
| 发表论文 | 第66页 |
| 申请专利 | 第66页 |