VCSOA-PIN光探测器的设计、仿真与实验验证
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第9-10页 |
| 1.3 课题主要研究内容和预期成果 | 第10-12页 |
| 2 VCSOA-PIN的结构与原理 | 第12-24页 |
| 2.1 VCSOA的结构与原理 | 第12-16页 |
| 2.2 PIN的结构与理论基础 | 第16-21页 |
| 2.3 VCSOA-PIN的结构与设计 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-24页 |
| 3 数值模拟程序的实现 | 第24-35页 |
| 3.1 离散化方法 | 第24-32页 |
| 3.2 程序流程控制 | 第32-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 数值仿真结果讨论与器件结构优化 | 第35-50页 |
| 4.1 模拟参数设置 | 第35-37页 |
| 4.2 器件响应度与带宽分析 | 第37-44页 |
| 4.3 器件结构优化 | 第44-45页 |
| 4.4 灵敏度与噪声分析 | 第45-47页 |
| 4.5 与APD的比较 | 第47-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 实验验证 | 第50-58页 |
| 5.1 外延片生长及后工艺设计 | 第50-52页 |
| 5.2 器件测试 | 第52-55页 |
| 5.3 结果与分析 | 第55-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
