| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号说明 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第13-22页 |
| 1.1.1 半导体晶圆制造业面临挑战 | 第13-14页 |
| 1.1.2 SWFS 的复杂性特点和科学问题的提出 | 第14-19页 |
| 1.1.2.1 SWFS 的主要复杂性特点 | 第14-16页 |
| 1.1.2.2 两个科学问题的提出 | 第16-19页 |
| 1.1.3 课题的研究意义 | 第19-22页 |
| 1.2 论文的主要内容及贡献 | 第22-25页 |
| 1.3 论文的组织结构 | 第25-27页 |
| 第二章 文献综述 | 第27-49页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 半导体晶圆制造系统概况 | 第27-34页 |
| 2.2.1 半导体芯片制造过程简介 | 第27-28页 |
| 2.2.2 晶圆直径和芯片尺寸 | 第28-29页 |
| 2.2.3 半导体晶圆制造的基本工艺流程 | 第29-31页 |
| 2.2.4 SWFS 的设施规划及装备特征 | 第31-34页 |
| 2.3 研究文献综述 | 第34-49页 |
| 2.3.1 时变多目标生产调度研究 | 第34-42页 |
| 2.3.1.1 研究状况简介 | 第34-41页 |
| 2.3.1.2 时变多目标生产调度综述小结 | 第41-42页 |
| 2.3.2 实时生产派工研究 | 第42-47页 |
| 2.3.2.1 研究状况简介 | 第42-46页 |
| 2.3.2.2 实时生产派工研究综述小结 | 第46-47页 |
| 2.3.3 研究现状总结 | 第47-49页 |
| 第三章 基于模糊理论的 TVMO 生产调度算法 | 第49-67页 |
| 3.1 引言 | 第49-50页 |
| 3.2 多目标生产控制策略 | 第50-58页 |
| 3.2.1 单一目标下的调度算法 | 第51-56页 |
| 3.2.2 多目标的加权集成 | 第56-58页 |
| 3.3 基于模糊理论的TVMO 生产调度算法 | 第58-65页 |
| 3.3.1 “调度日期”相对于“旬时变”模糊变量的权重 | 第58-63页 |
| 3.3.2 “旬时变”模糊变量约束下的目标权重 | 第63-64页 |
| 3.3.3 TVMO 调度的目标权重 | 第64-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 基于 TVMO 的自治与协调实时派工控制机制 | 第67-91页 |
| 4.1 引言 | 第67-68页 |
| 4.2 晶圆制造系统的派工策略 | 第68-73页 |
| 4.2.1 常见的派工策略介绍 | 第68-73页 |
| 4.3 基于TVMO 的实时派工控制方法 | 第73-81页 |
| 4.3.1 加工阶段Move 量目标的計算 | 第74-75页 |
| 4.3.2 TVMO 生产调度模块 | 第75-76页 |
| 4.3.3 TVMO 实时派工模块 | 第76-77页 |
| 4.3.4 案例研究 | 第77-81页 |
| 4.4 基于混合型的多目标实时派工机制 | 第81-89页 |
| 4.4.1 SWFS 的EOPNs 建模与信息监控 | 第81-82页 |
| 4.4.2 派工系统设计 | 第82-83页 |
| 4.4.3 实时派工机制 | 第83-85页 |
| 4.4.4 实时派工的执行过程 | 第85-86页 |
| 4.4.5 案例研究－动态瓶颈实时派工 | 第86-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-91页 |
| 第五章 基于TVMO 生产调度算法型的实时派工仿真系统改造 | 第91-103页 |
| 5.1 引言 | 第91-92页 |
| 5.2 ReS~2平台的原型系统介绍 | 第92-96页 |
| 5.2.1 ReS~2原系统界面设计 | 第94-96页 |
| 5.3 ReS~2 平台的系统改造:TVMO-ReS~2平台 | 第96-100页 |
| 5.3.1 TVMO-ReS~2平台的多目标调度算法界面 | 第96-98页 |
| 5.3.2 TVMO-ReS~2平台的时变模糊变量的输入界面 | 第98-100页 |
| 5.3.3 TVMO-ReS~2平台的多目标损失成本界面 | 第100页 |
| 5.4 案例研究 | 第100-102页 |
| 5.5 本章小结 | 第102-103页 |
| 第六章 实验与分析 | 第103-121页 |
| 6.1 引言 | 第103页 |
| 6.2 实验一: 基于模糊理论的TVMO 生产调度算法的实验(标竿数据) | 第103-113页 |
| 6.2.1 实验方案 | 第103-110页 |
| 6.2.2 实验结果与分析 | 第110-113页 |
| 6.3 实验二: 基于TVMO 实时派工控制系统机制(标竿数据) | 第113-115页 |
| 6.3.1 实验方案 | 第114-115页 |
| 6.3.2 实验结果与分析 | 第115页 |
| 6.4 实验三: 基于模糊理论的TVMO 生产调度算法的实验(真实数据) | 第115-118页 |
| 6.4.1 实验方案 | 第116页 |
| 6.4.2 实验结果与分析 | 第116-118页 |
| 6.5 本章小结 | 第118-121页 |
| 第七章 结论与展望 | 第121-127页 |
| 7.1 引言 | 第121页 |
| 7.2 本论文的主要工作及成果 | 第121-124页 |
| 7.3 本论文的创新点 | 第124页 |
| 7.3 总结与展望 | 第124-127页 |
| 参考文献 | 第127-133页 |
| 附录——仿真实验数据统计 | 第133-179页 |
| 作者攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第179-181页 |
| 致谢 | 第181页 |
