| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光栅位移测量技术的研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.1 国外关于光栅位移测量技术的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 国内关于光栅位移测量技术的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 光栅零位对准技术的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3.1 国外关于光栅零位对准技术的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3.2 国内关于光栅零位对准技术的研究现状 | 第20页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 2×2~(1/2)细分光栅位移测量系统的光路设计以及光栅参数优化 | 第22-32页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 2×2~(1/2) 2细分光栅位移测量系统原理 | 第22-25页 |
| 2.2.1 X向和Y向的位移测量原理 | 第22-24页 |
| 2.2.2 Z向的位移测量原理 | 第24-25页 |
| 2.3 2级衍射光与光学细分倍数的仿真分析 | 第25-28页 |
| 2.4 扫描光栅参数设计与优化 | 第28-29页 |
| 2.5 标尺光栅参数设计与优化 | 第29-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 光栅零位对准系统的光学结构设计与分析 | 第32-46页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 光栅零位对准系统的原理 | 第32-33页 |
| 3.3 光栅零位对准系统的小型化光路设计 | 第33-37页 |
| 3.3.1 激光光源的光纤导入 | 第33-34页 |
| 3.3.2 小型化光电探测器的选择 | 第34-35页 |
| 3.3.3 光电转换电路的设计 | 第35-37页 |
| 3.4 光栅零位对准系统的参数设计 | 第37-44页 |
| 3.4.1 光栅总体尺寸设计 | 第37-38页 |
| 3.4.2 光栅零位对准系统对准标记编码设计 | 第38-40页 |
| 3.4.3 光栅对准标记内部结构参数设计 | 第40-44页 |
| 3.5 位移测量系统与对准系统总体小型化结构设计 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 光栅测量与零位对准系统电路设计 | 第46-52页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 电路部分原理分析 | 第46-47页 |
| 4.2.1 光栅测量系统电路原理分析 | 第46页 |
| 4.2.2 光栅零位对准系统电路原理分析 | 第46-47页 |
| 4.3 光栅测量与零位对准系统板卡硬件设计 | 第47-50页 |
| 4.3.1 光栅测量与零位对准系统板卡主控系统设计 | 第47-49页 |
| 4.3.2 光栅测量与零位对准系统板卡外设设计 | 第49-50页 |
| 4.4 光栅测量与零位对准系统板卡程序设计 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 实验及测量结果分析 | 第52-67页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 光栅的加工与衍射特性分析 | 第52-56页 |
| 5.2.1 位移测量系统的光栅衍射特性分析 | 第53-56页 |
| 5.2.2 对准系统的光栅衍射特性分析 | 第56页 |
| 5.3 光栅位移测量实验 | 第56-60页 |
| 5.3.1 位移测量实验平台的搭建 | 第56-57页 |
| 5.3.2 X向位移测量信号分析 | 第57-58页 |
| 5.3.3 Y向位移测量信号分析 | 第58-59页 |
| 5.3.4 Z向位移测量信号分析 | 第59-60页 |
| 5.4 零位对准实验 | 第60-66页 |
| 5.4.1 零位对准实验平台的搭建 | 第60-62页 |
| 5.4.2 实验所需光斑信号的检测 | 第62-64页 |
| 5.4.3 基于激光干涉仪的对准评价实验 | 第64-65页 |
| 5.4.4 影响对准精度的因素 | 第65-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
