| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 飞秒激光的微加工应用 | 第11-19页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第19-22页 |
| 第二章 飞秒激光加工理论概述及模型研究 | 第22-34页 |
| 2.1 飞秒激光烧蚀金属材料的作用机理 | 第23页 |
| 2.2 飞秒激光微纳加工技术机理研究常用模型 | 第23-26页 |
| 2.3 多脉冲三维双温模型 | 第26-31页 |
| 2.3.1 不同加工条件对深小孔形貌的影响规律研究 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-34页 |
| 第三章 飞秒激光加工高深比微孔的实现方法 | 第34-42页 |
| 3.1 高斯光束飞秒激光微孔加工 | 第34-36页 |
| 3.2 基于局部瞬时动态电子调控的飞秒激光微孔加工 | 第36-37页 |
| 3.3 基于贝塞尔光束的飞秒激光微孔加工 | 第37-40页 |
| 3.3.1 贝塞尔光束的介绍 | 第37页 |
| 3.3.2 产生贝塞尔光束的实验方法 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 飞秒激光微加工平台及实验研究 | 第42-62页 |
| 4.1 飞秒激光微加工实验平台介绍 | 第42-45页 |
| 4.1.1 飞秒激光器简介 | 第42-43页 |
| 4.1.2 三维精密加工移动平台及检测系统 | 第43-44页 |
| 4.1.3 超高真空加工平台 | 第44-45页 |
| 4.2 飞秒激光烧蚀金属铝实验研究 | 第45-51页 |
| 4.2.1 样品准备 | 第45-46页 |
| 4.2.2 实验结果及讨论 | 第46-51页 |
| 4.3 飞秒激光烧蚀聚苯乙烯（PS）薄膜实验研究 | 第51-55页 |
| 4.3.1 重复频率对激光加工的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.2 材料表面水膜对激光加工的影响 | 第53-55页 |
| 4.3.3 腰斑位置聚焦位置对激光加工的影响 | 第55页 |
| 4.4 无衍射贝塞尔光束微加工 | 第55-59页 |
| 4.4.1 理论分析及实验装置测定 | 第55-58页 |
| 4.4.2 贝塞尔实验装置及研究 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-62页 |
| 全文总结与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第75页 |