基于PDMS的压电驱动式系列微型泵的设计及实验研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 压电泵的分类和结构 | 第7-11页 |
| 1.2.1 压电叠堆泵和压电薄膜泵 | 第8-9页 |
| 1.2.2 无阀压电泵和有阀压电泵 | 第9-11页 |
| 1.3 压电泵的研究现状及应用 | 第11-13页 |
| 1.4 聚二甲基硅氧烷（PDMS） | 第13-14页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要研究内容 | 第14-16页 |
| 1.5.1 本文的研究意义 | 第14-15页 |
| 1.5.2 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.6 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 压电振子工作特性研究 | 第17-27页 |
| 2.1 压电效应及压电材料 | 第17-19页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第17-18页 |
| 2.1.2 压电常数 | 第18页 |
| 2.1.3 压电材料 | 第18-19页 |
| 2.2 压电振子 | 第19-20页 |
| 2.3 压电振子理论模型 | 第20-23页 |
| 2.4 压电振子有限元模型分析 | 第23-26页 |
| 2.4.1 压电振子的静态分析 | 第23-25页 |
| 2.4.2 压电振子的模态分析 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 PDMS压电泵的结构设计 | 第27-35页 |
| 3.1 PDMS单腔压电泵的设计 | 第27-30页 |
| 3.1.1 单腔压电泵的工作原理 | 第27-28页 |
| 3.1.2 PDMS单腔压电泵的结构 | 第28-30页 |
| 3.2 双腔压电泵理论分析 | 第30-32页 |
| 3.2.1 双腔压电泵工作模式分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 双腔压电泵理论分析 | 第31-32页 |
| 3.3 PDMS双腔压电泵的结构设计 | 第32-34页 |
| 3.3.1 PDMS双腔串联压电泵的结构设计 | 第32-33页 |
| 3.3.2 PDMS双腔并联压电泵的结构设计 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 PDMS压电泵的样机制作 | 第35-46页 |
| 4.1 悬臂梁式单向阀的设计制作 | 第35-40页 |
| 4.1.1 阀片的选材 | 第35页 |
| 4.1.2 阀片的结构 | 第35-38页 |
| 4.1.3 阀片的变刚度设计 | 第38-40页 |
| 4.2 PDMS压电泵的制作 | 第40-44页 |
| 4.2.1 PDMS压电泵的制作流程 | 第40页 |
| 4.2.2 模具制作工艺 | 第40-42页 |
| 4.2.3 PDMS泵体的制作 | 第42-44页 |
| 4.2.4 PDMS压电泵的装配 | 第44页 |
| 4.3 PMMA压电泵的制作 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 PDMS压电泵的实验研究 | 第46-51页 |
| 5.1 PDMS压电泵与PMMA压电泵性能比较 | 第46-49页 |
| 5.2 PDMS压电泵的工作性能测试 | 第49-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 结论与展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 作者简介 | 第56页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第56页 |
