| 致谢 | 第3-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 传统光学光刻技术背景 | 第11-17页 |
| 1.1.1 传统光学光刻的发展 | 第11-12页 |
| 1.1.2 投影光刻分辨力增强方法 | 第12-16页 |
| 1.1.3 倏逝波对投影光刻分辨力的影响 | 第16-17页 |
| 1.2 表面等离子体概念及特性 | 第17-19页 |
| 1.3 操纵倏逝波的SP光刻技术 | 第19-28页 |
| 1.3.1 SP干涉光刻 | 第19-20页 |
| 1.3.2 SP成像光刻 | 第20-24页 |
| 1.3.3 SP直写光刻 | 第24-28页 |
| 1.4 本研究领域存在的关键科学问题及研究思路 | 第28页 |
| 1.5 本文的主要内容及章节安排 | 第28-31页 |
| 第二章 亚波长结构调控倏逝波的电磁场计算和分析方法 | 第31-47页 |
| 2.1 亚波长结构电磁场矢量衍射计算 | 第31-38页 |
| 2.1.1 严格耦合波分析法 | 第31-35页 |
| 2.1.2 有限元分析方法 | 第35-36页 |
| 2.1.3 时域有限差分法 | 第36-37页 |
| 2.1.4 吸收边界条件 | 第37-38页 |
| 2.2 基于多层膜结构的双曲色散超材料分析方法 | 第38-43页 |
| 2.2.1 MIM结构的模式分布 | 第38-40页 |
| 2.2.2 等效介质理论 | 第40-42页 |
| 2.2.3 特征矩阵法和布洛赫模型 | 第42-43页 |
| 2.3 基于变换光学的SP透镜设计 | 第43-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 浸没式离轴照明SP透镜成像光刻理论及数理模型 | 第47-63页 |
| 3.1 研究意义 | 第47-48页 |
| 3.2 浸没式离轴照明SP透镜成像原理及规律分析 | 第48-53页 |
| 3.2.1 成像信息频谱平移 | 第49-50页 |
| 3.2.2 像平面电场极化调制 | 第50-52页 |
| 3.2.3 浸没式离轴照明SP透镜成像规律分析 | 第52-53页 |
| 3.3 浸没式离轴照明Hyperlens缩小成像 | 第53-59页 |
| 3.3.1 分辨力增强原理及成像规律分析 | 第54-56页 |
| 3.3.2 数值模拟结果及成像质量分析 | 第56-59页 |
| 3.4 浸没式离轴照明SP透镜成像数理模型 | 第59-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 棱镜浸没离轴照明SP透镜设计及光刻实验研究 | 第63-77页 |
| 4.1 结构设计及理论分析 | 第63-67页 |
| 4.2 光刻实验验证 | 第67-72页 |
| 4.3 离轴照明的边缘图形畸变修正及实验验证 | 第72-76页 |
| 4.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 双曲超材料浸没离轴照明SP透镜设计及光刻实验研究 | 第77-89页 |
| 5.1 双曲超材料的空间波矢滤波分析 | 第77-79页 |
| 5.2 透镜结构设计分析 | 第79-84页 |
| 5.3 实验研究 | 第84-88页 |
| 5.3.1 双曲超材料滤波性能实验验证 | 第84-87页 |
| 5.3.2 深亚波长分辨力SP成像光刻实验验证 | 第87-88页 |
| 5.4 本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 双曲超材料的近场Bessel-SP聚焦透镜设计及光刻实验研究 | 第89-103页 |
| 6.1 研究意义 | 第89-90页 |
| 6.2 近场Bessel-SP聚焦透镜设计及原理分析 | 第90-92页 |
| 6.3 径向极化与圆极化照明的近场Bessel-SP聚焦透镜 | 第92-96页 |
| 6.4 近场Bessel-SP聚焦透镜光刻实验研究 | 第96-100页 |
| 6.4.1 结构设计 | 第96-98页 |
| 6.4.2 光刻实验 | 第98-100页 |
| 6.5 本章小结 | 第100-103页 |
| 第七章 结束语 | 第103-105页 |
| 7.1 论文的主要创新点 | 第103-104页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-115页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第115-117页 |
