| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 金属-半导体-金属(MSM)光电探测器 | 第8-9页 |
| 1.2 双光子加工 | 第9-18页 |
| 1.2.1 双光子吸收(IPA)和双光子聚合(TPP) | 第9-12页 |
| 1.2.2 使用双光子聚合加工制备功能结构 | 第12-18页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 MSM-PD原理及优化仿真 | 第20-35页 |
| 2.1 FDTD仿真原理及软件介绍 | 第20-23页 |
| 2.1.1 原理介绍 | 第20-21页 |
| 2.1.2 FDTD建模 | 第21-23页 |
| 2.2 铝纳米光栅砷化镓基金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PD) | 第23-34页 |
| 2.2.1 砷化镓材料的基本特性 | 第23-24页 |
| 2.2.2 金属-半导体-金属光电探测器基本结构和工作原理 | 第24-26页 |
| 2.2.3 探测器性能改善方法 | 第26-27页 |
| 2.2.4 等离子体增强型MSM-PDs | 第27-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 双光子加工结合毛细力自组装制备各向异性结构 | 第35-44页 |
| 3.1 毛细力诱导自组装 | 第37-40页 |
| 3.3 各向异性结构制备 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 多级结构的制备及自组装结构的应用 | 第44-51页 |
| 4.1 双层结构的制备 | 第44-47页 |
| 4.2 自组装结构的应用 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读学位期间发表学术论文 | 第61页 |
