摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-6页 |
第一章 绪论 | 第6-13页 |
·研究背景和意义 | 第6页 |
·金刚石的晶体结构 | 第6-7页 |
·金刚石的研究历史 | 第7-8页 |
·热丝化学气相沉积金刚石的性质 | 第8-9页 |
·金刚石的力学特性 | 第8页 |
·金刚石的光学性质 | 第8-9页 |
·金刚石的热学应用 | 第9页 |
·金刚石的电学性质 | 第9页 |
·热丝化学气相沉积生长金刚石的应用 | 第9-10页 |
·金刚石三维生长 | 第10-11页 |
·本人研究内容 | 第11-13页 |
第二章 金刚石生长机理研究 | 第13-26页 |
·实验仪器介绍 | 第13-14页 |
·HFCVD参数影响 | 第14-22页 |
·金刚石的三维生长工艺 | 第22-26页 |
第三章 金刚石的三维渗透生长 | 第26-34页 |
·样品制备 | 第26-27页 |
·实验结果与分析 | 第27-33页 |
·本章小结 | 第33-34页 |
第四章 金刚石的单晶外延生长 | 第34-41页 |
·样品制备 | 第35-36页 |
·实验结果与分析 | 第36-39页 |
·本章小结 | 第39-41页 |
第五章 结论 | 第41-43页 |
·主要结论 | 第41-42页 |
·未来展望 | 第42-43页 |
参考文献 | 第43-50页 |
在学期间的研究成果 | 第50-51页 |
致谢 | 第51页 |