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金刚石三维生长模式研究

摘要第1-4页
Abstract第4-6页
第一章 绪论第6-13页
   ·研究背景和意义第6页
   ·金刚石的晶体结构第6-7页
   ·金刚石的研究历史第7-8页
   ·热丝化学气相沉积金刚石的性质第8-9页
     ·金刚石的力学特性第8页
     ·金刚石的光学性质第8-9页
     ·金刚石的热学应用第9页
     ·金刚石的电学性质第9页
   ·热丝化学气相沉积生长金刚石的应用第9-10页
   ·金刚石三维生长第10-11页
   ·本人研究内容第11-13页
第二章 金刚石生长机理研究第13-26页
   ·实验仪器介绍第13-14页
   ·HFCVD参数影响第14-22页
   ·金刚石的三维生长工艺第22-26页
第三章 金刚石的三维渗透生长第26-34页
   ·样品制备第26-27页
   ·实验结果与分析第27-33页
   ·本章小结第33-34页
第四章 金刚石的单晶外延生长第34-41页
   ·样品制备第35-36页
   ·实验结果与分析第36-39页
   ·本章小结第39-41页
第五章 结论第41-43页
   ·主要结论第41-42页
   ·未来展望第42-43页
参考文献第43-50页
在学期间的研究成果第50-51页
致谢第51页

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