微纳特征结构及表面形貌表征方法的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 微纳特征结构表征方法的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 表面形貌表征方法的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4 微纳米测量方法 | 第19-22页 |
| 1.4.1 机械触针测量法 | 第19页 |
| 1.4.2 激光聚焦式测量法 | 第19-20页 |
| 1.4.3 扫描电子显微术 | 第20-21页 |
| 1.4.4 光学显微干涉术 | 第21-22页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2 微纳米坐标测量系统的构建 | 第24-46页 |
| 2.1 高精度定位与测量平台 | 第24-25页 |
| 2.2 原子力显微测量系统 | 第25-29页 |
| 2.2.1 原子力显微测量原理 | 第25-27页 |
| 2.2.2 基于NMM的原子力显微测量系统 | 第27-28页 |
| 2.2.3 AFM测头的校准 | 第28-29页 |
| 2.3 白光干涉测量系统 | 第29-45页 |
| 2.3.1 白光干涉信号数学模型 | 第29-30页 |
| 2.3.2 白光干涉测量原理 | 第30-31页 |
| 2.3.3 相干峰定位算法 | 第31-38页 |
| 2.3.4 白光干涉测量系统 | 第38-43页 |
| 2.3.5 干涉系统的测量分辨率 | 第43-44页 |
| 2.3.6 基于NMM的白光干涉测量系统 | 第44-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 3 微纳米台阶结构表征方法 | 第46-56页 |
| 3.1 台阶结构的表征 | 第46-48页 |
| 3.2 台阶高度的评价方法 | 第48-50页 |
| 3.2.1 直方图法 | 第48-49页 |
| 3.2.2 台阶结构的标准评价法 | 第49-50页 |
| 3.3 纳米级台阶评价结果分析 | 第50-52页 |
| 3.4 大尺寸台阶结构的测量 | 第52-55页 |
| 3.4.1 变速扫描原理 | 第52-53页 |
| 3.4.2 单边台阶评价法 | 第53-54页 |
| 3.4.3 微米级台阶评价结果 | 第54-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 一维线间隔特征结构表征方法 | 第56-74页 |
| 4.1 正交扫描方向 | 第56-59页 |
| 4.2 局部频谱细化的傅里叶变换法 | 第59-63页 |
| 4.2.1 算法的基本原理 | 第59-61页 |
| 4.2.2 一维线间隔样板数据实测分析 | 第61-63页 |
| 4.3 重心法的优化 | 第63-73页 |
| 4.3.1 重心法基本原理 | 第63-66页 |
| 4.3.2 数据的预处理 | 第66-68页 |
| 4.3.3 小波降噪 | 第68-69页 |
| 4.3.4 波纹滤波 | 第69页 |
| 4.3.5 一维线间隔数据实测分析 | 第69-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 5 表面形貌表征方法的研究 | 第74-87页 |
| 5.1 表面特征的形成与划分 | 第74-75页 |
| 5.2 主要的表面粗糙度评定基准 | 第75-80页 |
| 5.2.1 最小二乘中线 | 第75页 |
| 5.2.2 2RC滤波中线 | 第75-76页 |
| 5.2.3 高斯滤波中线 | 第76-80页 |
| 5.3 表面粗糙度参数表征 | 第80-83页 |
| 5.3.1 二维表面粗糙度参数 | 第80-82页 |
| 5.3.2 三维表面粗糙度参数 | 第82-83页 |
| 5.4 数据处理软件 | 第83页 |
| 5.5 实验结果与分析 | 第83-86页 |
| 5.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 6 总结与展望 | 第87-89页 |
| 6.1 全文总结 | 第87-88页 |
| 6.2 本文创新点 | 第88页 |
| 6.3 工作展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-92页 |
| 作者简介 | 第92-93页 |
