| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 硅基纳米光波导器件 | 第14-19页 |
| 1.2.1 纳米光波导微环谐振腔 | 第15-18页 |
| 1.2.2 微环谐振腔中的类电磁诱导透明效应 | 第18-19页 |
| 1.3 硅基纳米光波导集成芯片的国内外发展现状 | 第19-22页 |
| 1.4 石墨烯光电材料 | 第22-24页 |
| 1.5 本论文的主要内容 | 第24-26页 |
| 2 硅基纳米光波导光传输特性与石墨烯光电特性的理论研究 | 第26-64页 |
| 2.1 硅基纳米光波导光学传输特性研究分析 | 第26-42页 |
| 2.1.1 波导的基本几何光学理论 | 第26-31页 |
| 2.1.2 耦合模基本理论 | 第31-33页 |
| 2.1.3 光波导传输损耗分析 | 第33-42页 |
| 2.2 高效垂直纳米光栅定向耦合器传输光场特性仿真分析 | 第42-48页 |
| 2.2.1 耦合效率的计算 | 第42-44页 |
| 2.2.2 波导光栅各参数的优化 | 第44-46页 |
| 2.2.3 SiO_2层厚度及占空比的优化 | 第46-48页 |
| 2.3 纳米光波导微谐振腔传输特性分析 | 第48-54页 |
| 2.3.1 波导与微环谐振腔的耦合 | 第48-49页 |
| 2.3.2 纳米光波导微环谐振腔的重要参数 | 第49-52页 |
| 2.3.3 微环谐振腔的光传输原理 | 第52-54页 |
| 2.4 石墨烯的结构及特性 | 第54-62页 |
| 2.4.1 石墨烯的晶体结构 | 第54-55页 |
| 2.4.2 石墨烯的光学特性 | 第55-56页 |
| 2.4.3 石墨烯的费米能级 | 第56-57页 |
| 2.4.4 石墨烯的量子电容 | 第57-59页 |
| 2.4.5 石墨烯的载流子弛豫过程 | 第59-60页 |
| 2.4.6 石墨烯的光电导率 | 第60-62页 |
| 2.5 石墨烯-微环谐振腔复合结构的调制原理 | 第62-63页 |
| 2.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 3 石墨烯与硅基纳米光波导复合结构的工艺制备 | 第64-83页 |
| 3.1 纳米光波导的工艺制备 | 第64-67页 |
| 3.2 石墨烯制备和拉曼光谱的表征 | 第67-73页 |
| 3.2.1 石墨烯的制备方法 | 第67-69页 |
| 3.2.2 石墨烯的转移方法 | 第69页 |
| 3.2.3 石墨烯的拉曼光谱表征 | 第69-73页 |
| 3.3 石墨烯纳米光波导复合结构的工艺制备 | 第73-82页 |
| 3.3.1 工艺流程 | 第73-74页 |
| 3.3.2 两层石墨烯间氧化铝介质的生长 | 第74-75页 |
| 3.3.3 底层石墨烯引出电极的问题 | 第75-76页 |
| 3.3.4 套刻精度及金属剥离的改进 | 第76-79页 |
| 3.3.5 石墨烯与纳米光波导复合结构的器件 | 第79-80页 |
| 3.3.6 光波导芯片与PCB版的连接 | 第80-82页 |
| 3.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 4 石墨烯与硅基纳米光波导复合结构的电光调制特性研究 | 第83-93页 |
| 4.1 硅基纳米光波导传输特性测试 | 第83-84页 |
| 4.2 石墨烯-光波导复合结构的静态测试 | 第84-87页 |
| 4.3 石墨烯-微环谐振腔复合结构的电光调制特性测试 | 第87-92页 |
| 4.3.1 石墨烯-微环谐振腔复合结构的电光调制测试分析 | 第87-89页 |
| 4.3.2 石墨烯-渐变型微环谐振腔复合结构的高效电光调制 | 第89-92页 |
| 4.4 本章小结 | 第92-93页 |
| 5 基于石墨烯可调的类电磁诱导透明效应研究 | 第93-107页 |
| 5.1 级联双环类电磁诱导透明的产生原理 | 第93-97页 |
| 5.2 微环的参数对类EIT效应的影响 | 第97-102页 |
| 5.2.1 两环的传输系数对CRIT的影响 | 第97-98页 |
| 5.2.2 其他参数对类EIT效应的影响 | 第98-101页 |
| 5.2.3 石墨烯对级联微环谐振腔中的类EIT效应的调控原理 | 第101-102页 |
| 5.3 石墨烯对级联双环类EIT效应的调控测试 | 第102-106页 |
| 5.4 本章小结 | 第106-107页 |
| 6 总结与展望 | 第107-109页 |
| 6.1 论文主要工作及创新点 | 第107-108页 |
| 6.2 工作展望 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-116页 |
| 攻读博士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
