CVD金刚石自支撑膜的制备与热物理性能研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 1 引言 | 第12-16页 |
| 2 文献综述 | 第16-46页 |
| ·金刚石的基本性质 | 第16-17页 |
| ·CVD金刚石厚膜制备的研究进展 | 第17-19页 |
| ·金刚石的光学性能研究现状 | 第19-28页 |
| ·金刚石的基本光学特征 | 第19-22页 |
| ·影响金刚石光学性能的主要因素 | 第22-23页 |
| ·金刚石膜的高温光学性能研究进展 | 第23-28页 |
| ·金刚石的热学性能研究现状 | 第28-38页 |
| ·金刚石的传热原理 | 第28-30页 |
| ·金刚石热导率的测试手段 | 第30-34页 |
| ·金刚石膜热导率的影响因素 | 第34-36页 |
| ·金刚石膜的高温热学性能研究进展 | 第36-38页 |
| ·金刚石的力学性能研究进展 | 第38-46页 |
| ·金刚石的强度研究进展 | 第39-42页 |
| ·金刚石的砂蚀性能研究进展 | 第42-46页 |
| 3 研究内容与实验方法 | 第46-56页 |
| ·研究内容 | 第46-47页 |
| ·实验方法 | 第47-56页 |
| ·金刚石自支撑膜的制备 | 第47-48页 |
| ·金刚石自支撑膜的抛光 | 第48-49页 |
| ·金刚石膜的高温光学性能评价 | 第49-51页 |
| ·金刚石膜的热学性能评价 | 第51-53页 |
| ·金刚石膜的断裂强度评价 | 第53-54页 |
| ·金刚石膜的砂蚀性能评价 | 第54-56页 |
| 4 大面积金刚石自支撑膜的制备及基本性质 | 第56-70页 |
| ·Φ100mm金刚石自支撑膜的制备 | 第56-57页 |
| ·电弧特征对金刚石膜质量的影响 | 第57-62页 |
| ·金刚石膜的表面形貌 | 第58-60页 |
| ·金刚石膜的晶体取向 | 第60-61页 |
| ·金刚石膜的结晶质量与应力分布 | 第61-62页 |
| ·拉曼激发波长与金刚石膜特征峰的关联分析 | 第62-68页 |
| ·小结 | 第68-70页 |
| 5 金刚石自支撑膜的高温光学性能 | 第70-92页 |
| ·高温光学附件 | 第70-74页 |
| ·金刚石自支撑膜的基本光学特征 | 第74-77页 |
| ·金刚石膜的高温光学特性 | 第77-90页 |
| ·质量和厚度对金刚石膜高温光学性能的影响 | 第77-81页 |
| ·金刚石膜的高温光学特征分析 | 第81-86页 |
| ·氧化对金刚石膜高温光学性能的影响 | 第86-90页 |
| ·小结 | 第90-92页 |
| 6 金刚石自支撑膜的热学性能 | 第92-104页 |
| ·金刚石膜光学质量与热导率的相关性 | 第92-94页 |
| ·金刚石膜形核面和生长面的热导率对比 | 第94-96页 |
| ·金刚石膜的高温热学性能评价 | 第96-103页 |
| ·金刚石膜的高温热学性能检测 | 第96-100页 |
| ·金刚石膜的高温热学性能分析 | 第100-103页 |
| ·小结 | 第103-104页 |
| 7 金刚石自支撑膜的断裂强度研究 | 第104-112页 |
| ·金刚石膜断裂强度的归一化 | 第104-107页 |
| ·金刚石膜的高温断裂强度初探 | 第107-110页 |
| ·小结 | 第110-112页 |
| 8 红外光学材料与金刚石自支撑膜的抗砂蚀性能研究 | 第112-124页 |
| ·红外光学材料的砂蚀性能对比 | 第112-117页 |
| ·金刚石膜生长面与形核面砂蚀性能对比 | 第117-122页 |
| ·高温氧化对金刚石膜砂蚀性能的影响 | 第122-123页 |
| ·小结 | 第123-124页 |
| 9 结论 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 作者简历及在学研究成果 | 第136-140页 |
| 学位论文数据集 | 第140页 |
