| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·MEMS的基本概念及特点 | 第12-13页 |
| ·MEMS技术在军事领域的应用 | 第13-14页 |
| ·MEMS技术在引信用MEMS微执行器中的应用 | 第14-20页 |
| ·机械解除保险式引信用MEMS微执行器 | 第14-19页 |
| ·机电解除保险式引信用MEMS微执行器 | 第19-20页 |
| ·MEMS微执行器的主要制造技术 | 第20-23页 |
| ·LIGA技术 | 第21-22页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第22页 |
| ·微细电火花加工方法 | 第22-23页 |
| ·研究的内容和意义 | 第23-24页 |
| 第2章 引信用MEMS微执行器的工作原理和基本构成 | 第24-35页 |
| ·引信用MEMS微执行器的工作原理 | 第24-28页 |
| ·机械解除保险式引信用MEMS微执行器的工作原理 | 第24-27页 |
| ·机电解除保险式引信用MEMS微执行器的工作原理 | 第27-28页 |
| ·引信用MEMS微执行器的基本构成 | 第28-34页 |
| ·后坐保险机构 | 第28-30页 |
| ·递力机构 | 第30-32页 |
| ·离心保险机构 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 引信用MEMS微执行器的设计和分析 | 第35-60页 |
| ·引信用MEMS微执行器的总体设计 | 第35-37页 |
| ·引信用MEMS微执行器的设计准则 | 第35页 |
| ·引信用MEMS微执行器的设计方案 | 第35-37页 |
| ·引信用MEMS微执行器设计方案的具体分析 | 第37-50页 |
| ·蛇形槽的设计 | 第37-40页 |
| ·微弹簧的匹配 | 第40-45页 |
| ·错位闭锁机构的设计以及可行性分析 | 第45-50页 |
| ·引信用MEMS微执行器实体模型建立与仿真: | 第50-58页 |
| ·引信用MEMS微执行器实体模型的建立 | 第50-51页 |
| ·引信用MEMS微执行器的动力学仿真 | 第51-54页 |
| ·引信用MEMS微执行器的数值仿真结果和分析 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 引信用MEMS微执行器基于UV-LIGA技术的加工 | 第60-68页 |
| ·UV-LIGA技术重点工艺介绍 | 第60-64页 |
| ·SU-8 胶光刻工艺 | 第60-62页 |
| ·微电铸工艺 | 第62-64页 |
| ·引信用MEMS微执行器中微小器件制作工艺 | 第64-67页 |
| ·隔爆板制作工艺流程 | 第64-66页 |
| ·后坐滑块制作工艺流程 | 第66页 |
| ·基板制作工艺流程 | 第66-67页 |
| ·弹簧（25μm线宽和 30μm线宽）制作工艺流程 | 第67页 |
| ·装配过程 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 引信用MEMS微执行器基于微细电火花加工方法的研究 | 第68-81页 |
| ·微细电火花加工参数优化对加工质量的影响 | 第68-74页 |
| ·微细电火花的加工精度和加工效率 | 第68-69页 |
| ·微细电火花加工参数优化及加工质量分析 | 第69-74页 |
| ·微细电火花中微细电极的制备 | 第74-80页 |
| ·第一次制备微细电极实验 | 第75-76页 |
| ·第二次制备微细电极实验 | 第76-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
