一维多层压电陶瓷叠堆微驱动工作台
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第1章 导论 | 第7-17页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·叠层压电陶瓷驱动器 | 第7-14页 |
| ·压电效应与压电陶瓷 | 第7-9页 |
| ·叠层压电陶瓷驱动器的工作原理 | 第9-11页 |
| ·压电效应的物理基础 | 第11-14页 |
| ·柔性铰链的原理概述 | 第14-16页 |
| ·论文的研究目的及主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 叠层压电陶瓷的制备与测试 | 第17-35页 |
| ·流延法制备叠层压电陶瓷 | 第17-20页 |
| ·流延设备 | 第17-18页 |
| ·流延的工艺流程 | 第18-19页 |
| ·叠层压电陶瓷的制备 | 第19-20页 |
| ·压电陶瓷样品性能测试 | 第20-33页 |
| ·微观 SEM 结构分析 | 第20-23页 |
| ·容温曲线分析 | 第23页 |
| ·陶瓷-电极界面元素分布分析 | 第23-24页 |
| ·迟滞特性 | 第24-27页 |
| ·蠕变特性 | 第27-28页 |
| ·受力-位移特性 | 第28-31页 |
| ·温度特性 | 第31-33页 |
| ·动态特性 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 柔性铰链微位移放大器的设计与有限元分析 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·柔性铰链理论推导 | 第35-39页 |
| ·单轴型柔性铰链的公式设计与推导 | 第35-37页 |
| ·柔性铰链微位移放大结构的设计 | 第37-38页 |
| ·柔性铰链微位移放大机构的应力分析 | 第38-39页 |
| ·柔性铰链的有限元分析 | 第39-47页 |
| ·有限元概述 | 第39-40页 |
| ·基于有限元法的柔性铰链结构优化分析 | 第40-41页 |
| ·有限元法分析结果 | 第41-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 叠层压电陶瓷驱动微位移工作台的加工 | 第48-56页 |
| ·材料的选择 | 第48-49页 |
| ·柔性铰链材料的选择 | 第48-49页 |
| ·工作台材料的选择 | 第49页 |
| ·柔性铰链结构设计 | 第49页 |
| ·工作台结构设计 | 第49-50页 |
| ·其它零件设计 | 第50-51页 |
| ·微动台成品 | 第51-52页 |
| ·微动台的测试 | 第52-54页 |
| ·输出特性 | 第52-53页 |
| ·动态特性 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第61页 |
