| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·ZnO纳米材料 | 第7-11页 |
| ·MgZnO纳米材料 | 第11-14页 |
| ·原子层沉积制备方法的基本介绍 | 第14-16页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 衬底温度对ALD法制备MgZnO薄膜特性的影响 | 第17-21页 |
| ·实验部分 | 第17-18页 |
| ·结果与讨论 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 Mg掺杂浓度对ALD法制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜特性的影响 | 第21-25页 |
| ·实验部分 | 第21-22页 |
| ·结果与讨论 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第四章 退火温度对ALD法制备MgZnO薄膜特性的影响 | 第25-30页 |
| ·实验部分 | 第25-26页 |
| ·结果与讨论 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第五章 以PVP纳米纤维为模板制备Mg_xZn_(1-x)O-PVP复合纳米纤维结构 | 第30-35页 |
| ·实验部分 | 第30-31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 结论 | 第35-36页 |
| 致谢 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-40页 |
| 硕士期间发表文章 | 第40页 |