氮化铝压电薄膜的反应磁控溅射制备与性能表征
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-31页 |
| ·课题研究背景 | 第11页 |
| ·压电材料简介 | 第11-13页 |
| ·几种常用压电薄膜材料 | 第13-15页 |
| ·AlN压电薄膜的应用 | 第15-19页 |
| ·AlN薄膜的制备方法 | 第19-23页 |
| ·磁控反应溅射氮化铝薄膜的表征技术 | 第23页 |
| ·氮化铝薄膜材料的研究意义 | 第23-25页 |
| ·AlN压电薄膜材料的发展现状 | 第25-28页 |
| ·论文主要内容 | 第28-31页 |
| 第2章 氮化铝压电材料及其反应溅射理论 | 第31-53页 |
| ·基本极化理论 | 第31-33页 |
| ·AlN材料的晶体结构 | 第33-35页 |
| ·声波在AlN材料中的传播特性 | 第35-40页 |
| ·AlN薄膜压电耦合方程 | 第40-43页 |
| ·AlN薄膜的反应溅射理论 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-53页 |
| 第3章 AlN压电薄膜的反应磁控溅射制备 | 第53-73页 |
| ·AlN薄膜生长模型 | 第53-54页 |
| ·AlN压电薄膜的制备 | 第54-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第4章 AlN压电薄膜纵向压电常数的测量 | 第73-89页 |
| ·AlN薄膜纵向压电常数 | 第73-77页 |
| ·AlN薄膜纵向压电常数的PFM测试模型 | 第77-80页 |
| ·AlN压电薄膜测试样品制备 | 第80-82页 |
| ·AlN薄膜纵向压电常数测量 | 第82-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 总结与展望 | 第89-93页 |
| ·总结 | 第89-90页 |
| ·创新性成果 | 第90页 |
| ·展望 | 第90-93页 |
| 参考文献 | 第93-103页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第103-105页 |
| 指导教师及作者简介 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
