离轴非球面的组合全息检验
致谢 | 第1-4页 |
摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-8页 |
目录 | 第8-12页 |
第一章 绪论 | 第12-26页 |
·引言 | 第12-13页 |
·离轴非球面的高精度检测方法 | 第13-19页 |
·离轴非球面检测方法分类 | 第13页 |
·无像差检测法 | 第13-14页 |
·补偿检测法 | 第14-16页 |
·子孔径拼接检测法 | 第16-18页 |
·五棱镜扫描法 | 第18-19页 |
·课题背景与国内外现状 | 第19-24页 |
·课题研究目的及意义 | 第24-25页 |
·论文主要研究内容 | 第25-26页 |
第二章 计算全息(CGH)检测技术 | 第26-40页 |
·CGH 检测技术 | 第26-27页 |
·CGH 检测原理 | 第26-27页 |
·CGH 的特点 | 第27页 |
·CGH 分类 | 第27-29页 |
·CGH 的几个重要参数 | 第29-37页 |
·衍射效率 | 第29-31页 |
·衍射级次与占宽比 | 第31-33页 |
·刻蚀深度 | 第33-35页 |
·载频方式 | 第35-36页 |
·相位函数 | 第36-37页 |
·CGH 检测技术在非球面检测中的应用 | 第37-39页 |
·小结 | 第39-40页 |
第三章 波前拟合技术 | 第40-51页 |
·波前拟合概述 | 第40页 |
·Zernike 波前拟合 | 第40-44页 |
·Zernike 多项式简介和特点 | 第40-41页 |
·Zernike 多项式分类 | 第41-43页 |
·Zernike 多项式的局限性 | 第43-44页 |
·B-spline 波前拟合 | 第44-50页 |
·B-spline 样条函数的定义 | 第44-46页 |
·B-spline 的分类 | 第46-50页 |
·小结 | 第50-51页 |
第四章 单一 CGH 补偿检测技术 | 第51-76页 |
·检测光路 | 第51-52页 |
·测试全息设计 | 第52-56页 |
·离轴非球面的描述与坐标变换 | 第52-54页 |
·采样点离散相位值计算 | 第54-55页 |
·CGH 相位函数拟合 | 第55页 |
·交面法计算条纹位置 | 第55-56页 |
·对准方法设计 | 第56-61页 |
·CGH 与干涉仪之间的对准 | 第56-57页 |
·CGH 与离轴非球面之间的对准 | 第57-61页 |
·设计实例 | 第61-68页 |
·单一 CGH 补偿检测离轴非球面设计软件 | 第61-63页 |
·Φ50 离轴抛物面 CGH 设计 | 第63-66页 |
·Φ135 离轴抛物面 CGH 设计 | 第66-68页 |
·Zemax 仿真验证 | 第68-75页 |
·Zemax 仿真 | 第68-71页 |
·CGH 相位分布对比 | 第71-73页 |
·CGH 条纹位置对比 | 第73-75页 |
·小结 | 第75-76页 |
第五章 折衍混合补偿检测技术 | 第76-91页 |
·检测光路 | 第76-77页 |
·测试全息设计 | 第77-79页 |
·离轴非球面的描述与坐标变换 | 第77-78页 |
·采样点离散相位值的计算 | 第78页 |
·CGH 相位函数的拟合 | 第78-79页 |
·条纹位置的坐标值计算 | 第79页 |
·对准方法设计 | 第79-81页 |
·CGH 与干涉仪之间的对准 | 第79-80页 |
·CGH 与折转球面镜之间的对准 | 第80-81页 |
·CGH 与离轴非球面之间的对准 | 第81页 |
·设计实例 | 第81-86页 |
·折衍混合补偿检测离轴非球面设计软件 | 第81-82页 |
·Φ135 离轴抛物面折衍混合补偿 CGH 设计 | 第82-86页 |
·Zemax 仿真验证 | 第86-90页 |
·Zemax 仿真 | 第86-88页 |
·CGH 相位分布对比 | 第88-89页 |
·CGH 条纹位置对比 | 第89-90页 |
·小结 | 第90-91页 |
第六章 实验及误差分析 | 第91-117页 |
·Φ50 离轴抛物面检测实验 | 第91-97页 |
·平面镜自准直检测 | 第91-92页 |
·单一 CGH 补偿检测 | 第92-97页 |
·Φ135 离轴抛物面检测实验 | 第97-103页 |
·平面镜自准直检测 | 第98页 |
·单一 CGH 补偿检测 | 第98-100页 |
·折衍混合补偿检测 | 第100-103页 |
·实验误差分析 | 第103-115页 |
·标准镜头误差 | 第103-105页 |
·CGH 误差 | 第105-110页 |
·折转球面镜误差 | 第110-111页 |
·调整误差 | 第111-115页 |
·其他误差 | 第115页 |
·小结 | 第115-117页 |
第七章 全文总结及展望 | 第117-121页 |
·论文取得的主要成果 | 第117-119页 |
·论文主要的创新点 | 第119页 |
·研究展望 | 第119-121页 |
参考文献 | 第121-126页 |
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第126-127页 |