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离轴非球面的组合全息检验

致谢第1-4页
摘要第4-6页
Abstract第6-8页
目录第8-12页
第一章 绪论第12-26页
   ·引言第12-13页
   ·离轴非球面的高精度检测方法第13-19页
     ·离轴非球面检测方法分类第13页
     ·无像差检测法第13-14页
     ·补偿检测法第14-16页
     ·子孔径拼接检测法第16-18页
     ·五棱镜扫描法第18-19页
   ·课题背景与国内外现状第19-24页
   ·课题研究目的及意义第24-25页
   ·论文主要研究内容第25-26页
第二章 计算全息(CGH)检测技术第26-40页
   ·CGH 检测技术第26-27页
     ·CGH 检测原理第26-27页
     ·CGH 的特点第27页
   ·CGH 分类第27-29页
   ·CGH 的几个重要参数第29-37页
     ·衍射效率第29-31页
     ·衍射级次与占宽比第31-33页
     ·刻蚀深度第33-35页
     ·载频方式第35-36页
     ·相位函数第36-37页
   ·CGH 检测技术在非球面检测中的应用第37-39页
   ·小结第39-40页
第三章 波前拟合技术第40-51页
   ·波前拟合概述第40页
   ·Zernike 波前拟合第40-44页
     ·Zernike 多项式简介和特点第40-41页
     ·Zernike 多项式分类第41-43页
     ·Zernike 多项式的局限性第43-44页
   ·B-spline 波前拟合第44-50页
     ·B-spline 样条函数的定义第44-46页
     ·B-spline 的分类第46-50页
   ·小结第50-51页
第四章 单一 CGH 补偿检测技术第51-76页
   ·检测光路第51-52页
   ·测试全息设计第52-56页
     ·离轴非球面的描述与坐标变换第52-54页
     ·采样点离散相位值计算第54-55页
     ·CGH 相位函数拟合第55页
     ·交面法计算条纹位置第55-56页
   ·对准方法设计第56-61页
     ·CGH 与干涉仪之间的对准第56-57页
     ·CGH 与离轴非球面之间的对准第57-61页
   ·设计实例第61-68页
     ·单一 CGH 补偿检测离轴非球面设计软件第61-63页
     ·Φ50 离轴抛物面 CGH 设计第63-66页
     ·Φ135 离轴抛物面 CGH 设计第66-68页
   ·Zemax 仿真验证第68-75页
     ·Zemax 仿真第68-71页
     ·CGH 相位分布对比第71-73页
     ·CGH 条纹位置对比第73-75页
   ·小结第75-76页
第五章 折衍混合补偿检测技术第76-91页
   ·检测光路第76-77页
   ·测试全息设计第77-79页
     ·离轴非球面的描述与坐标变换第77-78页
     ·采样点离散相位值的计算第78页
     ·CGH 相位函数的拟合第78-79页
     ·条纹位置的坐标值计算第79页
   ·对准方法设计第79-81页
     ·CGH 与干涉仪之间的对准第79-80页
     ·CGH 与折转球面镜之间的对准第80-81页
     ·CGH 与离轴非球面之间的对准第81页
   ·设计实例第81-86页
     ·折衍混合补偿检测离轴非球面设计软件第81-82页
     ·Φ135 离轴抛物面折衍混合补偿 CGH 设计第82-86页
   ·Zemax 仿真验证第86-90页
     ·Zemax 仿真第86-88页
     ·CGH 相位分布对比第88-89页
     ·CGH 条纹位置对比第89-90页
   ·小结第90-91页
第六章 实验及误差分析第91-117页
   ·Φ50 离轴抛物面检测实验第91-97页
     ·平面镜自准直检测第91-92页
     ·单一 CGH 补偿检测第92-97页
   ·Φ135 离轴抛物面检测实验第97-103页
     ·平面镜自准直检测第98页
     ·单一 CGH 补偿检测第98-100页
     ·折衍混合补偿检测第100-103页
   ·实验误差分析第103-115页
     ·标准镜头误差第103-105页
     ·CGH 误差第105-110页
     ·折转球面镜误差第110-111页
     ·调整误差第111-115页
     ·其他误差第115页
   ·小结第115-117页
第七章 全文总结及展望第117-121页
   ·论文取得的主要成果第117-119页
   ·论文主要的创新点第119页
   ·研究展望第119-121页
参考文献第121-126页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第126-127页

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