| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·硅基光互连集成技术简介 | 第9-10页 |
| ·平面光波导耦合技术 | 第10-15页 |
| ·本文的工作 | 第15-16页 |
| 2 光栅耦合理论 | 第16-29页 |
| ·等效介质理论 | 第16-18页 |
| ·严格耦合波分析（RCWA）理论 | 第18-26页 |
| ·时域有限差分（FDTD）计算方法简介 | 第26-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 3 二元闪耀光栅耦合器设计 | 第29-38页 |
| ·闪耀光栅原理 | 第29-31页 |
| ·二元闪耀光栅等效近似 | 第31-35页 |
| ·二元闪耀光栅模拟及分析 | 第35-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 二维闪耀光栅耦合器设计与模拟 | 第38-45页 |
| ·二维光栅耦合器设计方法 | 第38-40页 |
| ·二维闪耀光栅耦合器设计 | 第40-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 5 二维闪耀光栅工艺制作 | 第45-55页 |
| ·二维闪耀光栅工艺制作流程 | 第45-47页 |
| ·光刻 | 第47-51页 |
| ·刻蚀 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |