| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-17页 |
| ·论文的研究内容 | 第17-18页 |
| 2 厚胶光刻工艺制作仿壁虎脚毛阵列研究 | 第18-26页 |
| ·厚胶光刻工艺 | 第18-19页 |
| ·SU-8 负性光刻胶光刻工艺研究 | 第19-21页 |
| ·基于SU-8 胶光刻工艺的仿壁虎刚毛阵列制作实验 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 基于硅模具的微模塑成型工艺研究 | 第26-37页 |
| ·硅模具的制作 | 第26-31页 |
| ·PDMS纤维阵列的制作实验 | 第31-33页 |
| ·PDMS仿壁虎刚毛纤维阵列的性质测试 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 双级层次纤维阵列结构制作工艺研究 | 第37-47页 |
| ·双级层次纤维阵列结构的制作工艺研究 | 第38-42页 |
| ·基于硅和SU-8 胶复合模具的微模塑成型工艺制作实验 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 5 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·全文总结 | 第47-48页 |
| ·展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54-55页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间发表的专利 | 第55页 |