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ZnO纳米团簇复合薄膜的制备及光电性质的研究

致谢第1-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7-11页
第一章 绪论第11-18页
   ·引言第11-12页
   ·ZnO的基本性质第12-15页
     ·ZnO的晶格结构和性质第12-14页
     ·ZnO的能带结构第14-15页
   ·ZnO的应用第15-16页
     ·光电方面的应用第15页
     ·压电方面应用第15-16页
     ·稀磁方面的应用第16页
   ·纳米团簇简介第16-17页
   ·本文主要工作第17-18页
第二章 氧化锌薄膜的制备方法第18-24页
   ·ZnO薄膜的制备方法简介第18-20页
     ·溅射法第18页
     ·脉冲激光沉积法第18-19页
     ·溶胶-凝胶法第19页
     ·电化学沉积法第19-20页
   ·ZnO薄膜的实验室制备第20-24页
     ·射频磁控溅射仪的实验原理第20-21页
     ·实验仪器及主要参数第21-22页
     ·制备ZnO薄膜实验步骤第22-24页
第三章 纳米团簇氧化锌薄膜的制备第24-40页
   ·纳米球刻蚀技术第24-25页
     ·纳米球刻蚀技术原理第24-25页
   ·单层PS微球掩膜板的制备第25-38页
     ·电泳法第25-29页
     ·直接滴点法第29-33页
     ·漂移法第33-38页
   ·含有纳米团簇结构的ZnO薄膜的制备第38-40页
第四章 纳米团簇氧化锌薄膜的表征第40-44页
   ·X射线衍射谱测试(XRD)第40-41页
   ·扫描电子显微镜测试(SEM)第41-43页
   ·样品薄膜厚度的测试第43-44页
第五章 氧化锌纳米团簇薄膜光学性质测试第44-53页
   ·光学透过率的测试第44-48页
   ·荧光光谱的测试第48-53页
第六章 PEDOT:PSS/ZnO复合薄膜的制备及电学性质的研究第53-56页
   ·旋转涂膜法制备PEDOT:PSS薄膜第53页
   ·四探针法测量电阻率第53-54页
   ·PEDOT:PSS/ZnO复合薄膜电阻率的测量第54-56页
第七章 结论第56-57页
参考文献第57-61页
作者简历第61-63页
学位论文数据集第63页

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