| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·可调谐光滤波器的分类 | 第11-18页 |
| ·棱镜结构可调谐光滤波器 | 第11-12页 |
| ·薄膜型可调谐光滤波器 | 第12页 |
| ·光栅结构可调谐光滤波器 | 第12-14页 |
| ·Fabry-Perot腔结构可调谐光滤波器 | 第14-16页 |
| ·M-Z干涉仪结构可调谐光滤波器 | 第16页 |
| ·微环结构可调谐光滤波器 | 第16-17页 |
| ·各种可调谐光滤波器的比较 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 基于SOI材料硅F-P腔热光可调谐光滤波器的设计 | 第19-41页 |
| ·SOI材料与脊型光波导 | 第19-20页 |
| ·SOI脊型光波导的设计 | 第20-21页 |
| ·硅F-P腔热光可调谐光滤波器的设计 | 第21-40页 |
| ·F-P腔干涉理论分析 | 第21-24页 |
| ·DBR与F-P腔的设计 | 第24-28页 |
| ·滤波器的热光调谐 | 第28-30页 |
| ·电极的设计与材料的选取 | 第30-33页 |
| ·ANSYS热分析 | 第33-37页 |
| ·制造过程的误差分析 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 聚合物F-P腔可调谐光滤波器的设计 | 第41-55页 |
| ·聚合物F-P腔可调谐光滤波器的提出背景 | 第41-42页 |
| ·聚合物热光滤波器的设计 | 第42-48页 |
| ·聚合物热光滤波器结构的优化 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 静电驱动梳齿电极可调谐光滤波器的设计 | 第55-64页 |
| ·波导尺寸的设计 | 第55-56页 |
| ·F-P腔的设计 | 第56-58页 |
| ·滤波器静电驱动器的设计 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结和展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64-65页 |
| ·工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 作者简介 | 第70页 |