准分子激光器性能测试技术研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-28页 |
| ·课题研究背景 | 第13-14页 |
| ·准分子激光器输出光谱特性测试方法及国内外现状 | 第14-17页 |
| ·法布里-玻罗光谱仪 | 第15-16页 |
| ·光栅光谱仪 | 第16-17页 |
| ·F-P 标准具和光栅联用的光谱测量装置 | 第17页 |
| ·准分子激光器输出能量特性测试方法及国内外现状 | 第17-19页 |
| ·光电法测量脉冲激光器输出能量 | 第17-18页 |
| ·热释电法测量脉冲激光器输出能量 | 第18-19页 |
| ·准分子激光器输出光束特性测试方法及国内外现状 | 第19-20页 |
| ·准分子激光器寿命和稳定性测试方法及国内外现状 | 第20-25页 |
| ·透过率法 | 第21页 |
| ·光热偏转法 | 第21-23页 |
| ·热透镜法 | 第23-24页 |
| ·激光量热技术 | 第24-25页 |
| ·本论文的研究内容 | 第25-28页 |
| 第2章 准分子激光器输出光谱特性测试 | 第28-57页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·准分子激光器输出光谱特性测试方法 | 第28-34页 |
| ·准分子激光器光谱谱宽测量 | 第28-31页 |
| ·绝对中心波长及波长稳定性测量 | 第31-34页 |
| ·光谱数据处理算法研究 | 第34-47页 |
| ·反卷积算法 | 第34-45页 |
| ·波长分辨率分析 | 第45-47页 |
| ·单脉冲提取方法研究 | 第47-56页 |
| ·仿真分析 | 第47-50页 |
| ·转盘式机械快门设计 | 第50-54页 |
| ·单脉冲提取实验 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第3章 准分子激光器输出能量特性测试 | 第57-69页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·单脉冲能量测量 | 第57-59页 |
| ·热释电能量计直接测量 | 第57-58页 |
| ·光电探测器积分能量测量 | 第58-59页 |
| ·能量稳定性及剂量稳定性测量 | 第59-63页 |
| ·热释电能量计测量 | 第60-61页 |
| ·光电探测器测量 | 第61-63页 |
| ·TIS 脉冲宽度 | 第63-67页 |
| ·数据采集处理系统 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第4章 准分子激光器输出光束特性测试 | 第69-90页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·近场光束特性 | 第69-73页 |
| ·光斑尺寸 | 第69-72页 |
| ·位置稳定性 | 第72-73页 |
| ·远场特性 | 第73-75页 |
| ·光束发散角 | 第73-74页 |
| ·光束指向稳定性 | 第74-75页 |
| ·偏振度 | 第75-86页 |
| ·基于布鲁斯特角的偏振度测量方法分析 | 第75-78页 |
| ·基于布鲁斯特角的偏振测量实验 | 第78-80页 |
| ·入射角引起的偏振度测量误差分析 | 第80页 |
| ·基于偏振分光棱镜的偏振度测量 | 第80-86页 |
| ·集成测试系统设计 | 第86-88页 |
| ·集成测试装置结构设计 | 第86-88页 |
| ·同步控制 | 第88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 第5章 准分子激光器寿命和稳定性分析 | 第90-115页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·透过率法对紫外级熔石英稳定性进行分析 | 第90-92页 |
| ·激光量热法测量深紫外光学元件吸收损耗 | 第92-102页 |
| ·激光量热实验装置介绍 | 第92-95页 |
| ·激光量热法测量紫外级熔石英吸收特性 | 第95-101页 |
| ·激光量热法测量氟化钙吸收特性 | 第101-102页 |
| ·荧光光谱特性测量 | 第102-114页 |
| ·紫外级熔石英荧光光谱特性测量 | 第103-108页 |
| ·紫外级熔石英吸收特性分析 | 第108-113页 |
| ·氟化钙荧光光谱测量 | 第113-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 第6章 总结与展望 | 第115-118页 |
| ·论文主要工作 | 第115-116页 |
| ·本论文创新点 | 第116-117页 |
| ·对后续工作的建议 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-127页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第127页 |
