基于平面螺旋电感耦合的小功率微波微等离子体的特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-14页 |
| ·论文的主要研究内容和创新之处 | 第14-15页 |
| ·论文结构 | 第15-16页 |
| 第二章 微波等离子体的基本理论 | 第16-21页 |
| ·微波等离子体的产生原理 | 第16页 |
| ·均匀平面波在等离子体中的传播 | 第16-21页 |
| ·磁化等离子体的张量介电常数 | 第16-18页 |
| ·磁化等离子体中的均匀平面波 | 第18-21页 |
| 第三章 平面渐变螺旋电感耦合微波微等离子体源 | 第21-29页 |
| ·平面渐变螺旋电感的基本模型 | 第21-23页 |
| ·平面渐变螺旋电感的Q值分析 | 第23-24页 |
| ·平面渐变螺旋电感的场分析 | 第24-25页 |
| ·平面渐变螺旋电感的工作原理 | 第25-29页 |
| 第四章 小功率微波微等离子体特性测试 | 第29-41页 |
| ·实验系统组成及其工作原理 | 第29-30页 |
| ·磁场对于微波微等离子体激励的理论分析 | 第30-31页 |
| ·微波微等离子体特性测试 | 第31-41页 |
| ·无磁场时微波微等离子体实验数据 | 第31-32页 |
| ·加载磁铁A时微波微等离子体实验数据 | 第32-35页 |
| ·加载磁铁B时微波微等离子体实验数据 | 第35-38页 |
| ·加载磁铁C时微波微等离子体实验数据 | 第38-41页 |
| 第五章 小功率微波微等离子体特性数据分析 | 第41-60页 |
| ·点亮、熄灭输入功率随真空度变化分析 | 第41-44页 |
| ·无磁场条件下的变化规律 | 第41页 |
| ·加载磁铁A条件下的变化规律 | 第41-42页 |
| ·加载磁铁B条件下的变化规律 | 第42-43页 |
| ·加载磁铁C条件下的变化规律 | 第43-44页 |
| ·点亮、熄灭输入功率随磁铁的变化 | 第44-49页 |
| ·真空度为3.0Torr时的变化规律 | 第44-46页 |
| ·真空度为3.7Torr时的变化规律 | 第46-47页 |
| ·真空度为5.0Torr时的变化规律 | 第47-49页 |
| ·微波微等离子体激励后反射系数随频率的变化 | 第49-58页 |
| ·无磁场条件下的变化规律 | 第49-50页 |
| ·加载磁铁A条件下的变化规律 | 第50-52页 |
| ·加载磁铁B条件下的变化规律 | 第52-55页 |
| ·加载磁铁C条件下的变化规律 | 第55-58页 |
| ·微波微等离子体激励前后源的温度变化分析 | 第58-59页 |
| ·微波微等离子体激励后的光谱分析 | 第59-60页 |
| 第六章 结论和工作展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·工作展望 | 第61-62页 |
| 研究生阶段发表论文 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
