| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| ·选题背景 | 第12-14页 |
| ·ZnO 的基本性质与应用 | 第14-17页 |
| ·ZnO 薄膜的研究进展 | 第17-20页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第17-18页 |
| ·ZnO 薄膜的性能研究 | 第18-20页 |
| ·研究思路与研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验部分 | 第22-26页 |
| ·薄膜制备装置与原理 | 第22-23页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第23-24页 |
| ·衬底预处理与薄膜制备 | 第24页 |
| ·薄膜的表征 | 第24-26页 |
| 第3章 溶剂对薄膜结构与性能的影响 | 第26-56页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·甲醇、乙醇、乙二醇甲醚和异丙醇溶剂对薄膜结构与性能的影响 | 第26-41页 |
| ·样品的制备 | 第26-27页 |
| ·成分与相结构 | 第27-30页 |
| ·表面形貌 | 第30-31页 |
| ·沉积机理 | 第31-36页 |
| ·光电性能 | 第36-41页 |
| ·二元混合溶剂中醇/水计量比对薄膜结构与性能的影响 | 第41-54页 |
| ·样品的制备 | 第41-42页 |
| ·相结构 | 第42-44页 |
| ·沉积机理 | 第44-48页 |
| ·表面形貌 | 第48-50页 |
| ·光电性能 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 Al、F 掺杂对薄膜结构与性能的影响 | 第56-88页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·Al 掺杂对薄膜结构与性能的影响 | 第56-67页 |
| ·样品的制备 | 第56-57页 |
| ·成分与相结构 | 第57-60页 |
| ·表面形貌 | 第60-61页 |
| ·光电性能 | 第61-67页 |
| ·F 掺杂对薄膜结构与性能的影响 | 第67-75页 |
| ·样品的制备 | 第67-68页 |
| ·成分与相结构 | 第68-69页 |
| ·表面形貌 | 第69-71页 |
| ·光电性能 | 第71-75页 |
| ·Al-F 共掺杂对薄膜结构与性能的影响 | 第75-86页 |
| ·样品的制备 | 第75-76页 |
| ·成分与相结构 | 第76-78页 |
| ·表面形貌 | 第78-80页 |
| ·光电性能 | 第80-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第5章 前驱液 pH 值对薄膜结构与性能的影响 | 第88-106页 |
| ·引言 | 第88页 |
| ·pH 对 Al 掺杂 ZnO 薄膜结构与性能的影响 | 第88-97页 |
| ·样品的制备 | 第88-89页 |
| ·相结构 | 第89-91页 |
| ·表面形貌 | 第91-92页 |
| ·光电性能 | 第92-97页 |
| ·透明导电 ZnO 薄膜最佳制备条件的研究 | 第97-105页 |
| ·样品的制备 | 第97-98页 |
| ·结果与讨论 | 第98-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 结论 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-117页 |
| 攻读博士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 作者简介 | 第120页 |
