ICP中RF电源的功率控制研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·ICP仪器发展历史简介 | 第11-12页 |
| ·ICP的RF电源的主流技术路线与发展趋势 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·国外研究现状与发展趋势 | 第14-15页 |
| ·国内研究现状与发展趋势 | 第15-16页 |
| ·存在的问题 | 第16页 |
| ·本文的主要内容及意义 | 第16-17页 |
| 第二章 ICP原理及RF电源的设计需求 | 第17-24页 |
| ·ICP光谱仪简介 | 第17-18页 |
| ·电感耦合等离子炬 | 第18-21页 |
| ·电感耦合装置介绍 | 第18-19页 |
| ·等离子炬产生原理及条件 | 第19-20页 |
| ·等离子炬负载特性 | 第20-21页 |
| ·自激式RF电源的设计要求 | 第21-24页 |
| ·自激式RF电源的特点与优势 | 第21-22页 |
| ·RF电源的设计指标 | 第22-24页 |
| 第三章 自激式RF电源的实现原理 | 第24-38页 |
| ·锁相环信号发生器 | 第24-28页 |
| ·锁相环的组成及各部分特点 | 第24-27页 |
| ·锁相环路的工作原理 | 第27-28页 |
| ·高频功率放大器 | 第28-33页 |
| ·概述 | 第29页 |
| ·E类功率放大器的工作原理 | 第29-31页 |
| ·E类功率放大器的参数分析 | 第31-32页 |
| ·E类推挽功率放大器 | 第32-33页 |
| ·阻抗匹配 | 第33-38页 |
| ·阻抗匹配基本原理 | 第33-35页 |
| ·阻抗匹配网络 | 第35-38页 |
| 第四章 自激式RF电源设计 | 第38-54页 |
| ·硬件电路设计与调试 | 第38-51页 |
| ·锁相环路的设计与调试 | 第38-46页 |
| ·功率放大器的设计与调试 | 第46-48页 |
| ·匹配网络的设计 | 第48-50页 |
| ·采样与检测电路 | 第50-51页 |
| ·软件设计 | 第51页 |
| ·RF电源的热设计 | 第51-53页 |
| ·RF电源的EMC和信号完整性设计 | 第53-54页 |
| 第五章 功率控制流程与策略 | 第54-61页 |
| ·功率控制流程 | 第54-58页 |
| ·RF点火控制流程 | 第54-56页 |
| ·RF功率调整流程 | 第56-58页 |
| ·功率控制策略 | 第58-61页 |
| ·直流电源控制 | 第58-59页 |
| ·偏置电压的电流环控制 | 第59-61页 |
| 第六章 RF电源性能测试 | 第61-66页 |
| ·RF电源测试及数据分析 | 第61-64页 |
| ·RF电源输出功率测试 | 第61-63页 |
| ·RF电源的频率测试 | 第63-64页 |
| ·等离子炬负载特性分析及变化曲线 | 第64-66页 |
| 第七章 总结与展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录 | 第71页 |
