| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 ：绪论 | 第12-25页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第12-13页 |
| ·ZnO半导体 | 第13-17页 |
| ·ZnO晶体结构 | 第13-14页 |
| ·ZnO能带结构 | 第14-16页 |
| ·ZnO基本特性 | 第16-17页 |
| ·ZnO天然N型的原因 | 第17-19页 |
| ·衬底对ZnO薄膜影响 | 第19-21页 |
| ·制备ZnO薄膜的方法 | 第21-25页 |
| ·磁控溅射(RF) | 第21-22页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第22-23页 |
| ·金属有机化合物气相沉积(MOCVD) | 第23-24页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第24页 |
| ·溶胶-凝胶(Sol-gel) | 第24-25页 |
| 第二章 样品制备方法及测试手段 | 第25-44页 |
| ·溶胶凝胶(Sol-gel)法制备ZnO薄膜 | 第25-28页 |
| ·Sol-gel方法的历史 | 第25-26页 |
| ·Sol-gel方法的基本过程 | 第26页 |
| ·Sol-gel方法的特点 | 第26-27页 |
| ·Sol-gel制备薄膜的方法 | 第27-28页 |
| ·Sol-gel制备ZnO薄膜 | 第28-35页 |
| ·胶体生成ZnO薄膜的原理 | 第28-29页 |
| ·Sol-gel制备ZnO胶体 | 第29-31页 |
| ·Si片的清洗 | 第31-34页 |
| ·薄膜的干燥退火 | 第34页 |
| ·Sol-gel制备ZnO薄膜流程 | 第34-35页 |
| ·结构表征和测试手段 | 第35-44页 |
| ·正电子湮没技术的原理和测试手段 | 第35-42页 |
| ·正电子寿命谱 | 第36-39页 |
| ·正电子多普勒展宽 | 第39-42页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第42页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第42-43页 |
| ·光致发光(PL) | 第43-44页 |
| 第三章 不同干燥退火程序、退火温度对ZnO特性的影响 | 第44-52页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·不同干燥退火程序对ZnO薄膜特性的影响 | 第44-49页 |
| ·不同干燥退火程序系列ZnO薄膜的制备 | 第44-45页 |
| ·不同干燥退火程序系列ZnO薄膜X射线衍射分析 | 第45-49页 |
| ·退火温度梯度对ZnO薄膜的影响 | 第49-51页 |
| ·退火温度梯度系列ZnO薄膜的制备 | 第49页 |
| ·退火温度梯度系列ZnO薄膜X射线衍射分析 | 第49-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第四章 不同摩尔浓度Na、K、Mg掺杂对ZnO薄膜特性的影响 | 第52-68页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·Na掺杂对ZnO薄膜特性的影响 | 第52-58页 |
| ·Na掺杂ZnO薄膜的制备 | 第52-53页 |
| ·Na掺杂ZnO薄膜的X射线衍射分析 | 第53-55页 |
| ·Na掺杂ZnO薄膜的正电子寿命谱分析 | 第55-56页 |
| ·Na掺杂ZnO薄膜的正电子多普勒分析 | 第56-58页 |
| ·K掺杂对ZnO薄膜特性的影响 | 第58-62页 |
| ·K掺杂ZnO薄膜的制备 | 第58页 |
| ·K掺杂ZnO薄膜的X射线衍射分析 | 第58-60页 |
| ·K掺杂ZnO薄膜的正电子寿命谱分析 | 第60-61页 |
| ·K掺杂ZnO薄膜的正电子多普勒分析 | 第61-62页 |
| ·Mg掺杂对ZnO薄膜特性的影响 | 第62-66页 |
| ·Mg掺杂ZnO薄膜的制备 | 第62页 |
| ·Mg掺杂ZnO薄膜的X射线衍射分析 | 第62-64页 |
| ·Mg掺杂ZnO薄膜的正电子寿命谱分析 | 第64-65页 |
| ·Mg掺杂ZnO薄膜的正电子多普勒分析 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 第五章 Si基ZnO薄膜的光电特性研究 | 第68-81页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第69-70页 |
| ·ZnO薄膜的扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射分析(XRD) | 第70-72页 |
| ·ZnO薄膜光致发光谱分析(PL) | 第72-73页 |
| ·n-zno/p-Si异质结的白光和红光特性研究 | 第73-77页 |
| ·膜层数对n-ZnO/p-Si异质结光电性能的研究 | 第77-80页 |
| ·膜层数对n-ZnO/p-Si异质结Ⅰ-Ⅴ特性曲线的影响 | 第77-78页 |
| ·膜层数对n-ZnO/p-Si异质结P-I_(sc)特性曲线的影响 | 第78-79页 |
| ·膜层数对n-ZnO/p-Si异质结P-V_(oc)特性曲线的影响 | 第79-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结和展望 | 第81-85页 |
| ·实验总结 | 第81-83页 |
| ·问题展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学位论文目录 | 第96页 |
