| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·研究的背景及意义 | 第7-8页 |
| ·非球面光学元件的加工方法 | 第8-9页 |
| ·国内外非球面精密器件磨削研究现状 | 第9-12页 |
| ·国外研究现状 | 第9-11页 |
| ·国内研究现状 | 第11-12页 |
| ·课题意义 | 第12页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 非球面光学曲面的研抛方法及关键部件结构设计 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·非球面光学曲面的研抛方法 | 第14-16页 |
| ·研抛机床关键部件结构设计 | 第16-22页 |
| ·精密气浮转台结构设计 | 第16-18页 |
| ·精密摆台结构设计 | 第18-20页 |
| ·精密气浮电主轴的结构设计 | 第20-22页 |
| ·装配设计 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 研抛装置关键部件的有限元设计 | 第24-45页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·有限元分析原理及其概述 | 第24-28页 |
| ·有限元法的概述 | 第24-25页 |
| ·结构分析的有限元法 | 第25-27页 |
| ·ANSYS软件组成和特点 | 第27-28页 |
| ·精密气浮转台负载特性分析 | 第28-33页 |
| ·精密气浮转台气膜的承载特性分析 | 第29-32页 |
| ·精密气浮转台的承载特性分析 | 第32-33页 |
| ·关键部件静力分析 | 第33-38页 |
| ·精密摆台的静力分析 | 第33-36页 |
| ·横梁的静力分析 | 第36-38页 |
| ·关键部件的模态分析 | 第38-43页 |
| ·气浮电主轴的模态分析 | 第38-41页 |
| ·床身的模态分析 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 转摆联动装置的刚柔耦合动力学分析 | 第45-60页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·对多体动力学的介绍 | 第45-51页 |
| ·多体系统动力学简介 | 第45-46页 |
| ·子结构模态综合法 | 第46-50页 |
| ·多体系统动力学方程的建立 | 第50-51页 |
| ·转摆联动装置的刚柔耦合动力学仿真 | 第51-59页 |
| ·转摆联动装置简介 | 第51-52页 |
| ·转摆联动装置的刚柔耦合动力学仿真 | 第52-57页 |
| ·刚柔耦合仿真结果分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第66-67页 |