基于PMAC的宽幅高速激光直写系统的控制研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景 | 第7-8页 |
| ·国内外激光直写系统的研究现状 | 第8-11页 |
| ·单光束光刻设备的研究现状 | 第8-9页 |
| ·干涉型激光直写技术的研究 | 第9-11页 |
| ·论文研究意义以及研究内容 | 第11-12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 第二章系统硬件的结构原理分析与设计 | 第13-27页 |
| ·宽幅激光干涉直写系统的结构分析与硬件设计 | 第13-18页 |
| ·结构分析与设计 | 第13-15页 |
| ·系统硬件选择 | 第15-18页 |
| ·PMAC 多轴控制卡 | 第18-20页 |
| ·PMAC 的运动程序 | 第20页 |
| ·PMAC 的PLC 程序 | 第20页 |
| ·PMAC 控制激光直写系统的连接 | 第20-23页 |
| ·PMAC 跳线设置 | 第20-21页 |
| ·PMAC 与主机通讯 | 第21页 |
| ·PMAC 控制系统的连接 | 第21-23页 |
| ·系统运行的安全设计 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章高精度系统的实现 | 第27-40页 |
| ·PMAC 控制直线电机的PID 整定 | 第27-33页 |
| ·PMAC 的PID+Notch 滤波器原理 | 第27-29页 |
| ·PID 参数以及前馈控制参数的整定 | 第29-32页 |
| ·运动过程中PID 参数的自适应调整 | 第32-33页 |
| ·运动的误差补偿 | 第33-34页 |
| ·激光器精确曝光的实现 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章激光直写文件的分析与光刻 | 第40-62页 |
| ·ARR 文件分析和光刻实现 | 第40-50页 |
| ·ARR 文件运动程序代码的生成 | 第40-44页 |
| ·运动程序的下载运行 | 第44-46页 |
| ·双端口RAM 通信模式的实现 | 第46-48页 |
| ·ARR 文件光刻结果 | 第48-50页 |
| ·GDSII 文件的光刻实现 | 第50-56页 |
| ·GDS 文件分析以及运动代码生成 | 第51-56页 |
| ·GDS 文件光刻结果 | 第56页 |
| ·DXF 文件分析和光刻实现 | 第56-61页 |
| ·DXF 文件分析以及运动代码生成 | 第56-60页 |
| ·DXF 文件光刻结果 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章总结与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 硕士期间发表论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 详细摘要 | 第69-71页 |
