低摩擦系数DLC膜的制备及摩擦性能的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·类金刚石碳膜的研究现状 | 第11-12页 |
| ·类金刚石碳膜发展史 | 第11页 |
| ·类金刚石碳膜结构 | 第11-12页 |
| ·国内外对类金刚石碳膜摩擦性能的研究现状 | 第12-18页 |
| ·类金刚石碳膜摩擦学性能的影响因素 | 第12-16页 |
| ·类金刚石碳膜的摩擦学机理 | 第16-18页 |
| ·元素的掺杂对DLC膜摩擦性能的影响 | 第18页 |
| ·PIII技术及其研究现状 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验材料、装置及实验方法 | 第20-28页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第20-21页 |
| ·实验材料 | 第20页 |
| ·试样制备 | 第20-21页 |
| ·实验装置及工作原理 | 第21-23页 |
| ·实验装置简介 | 第21-23页 |
| ·工作原理 | 第23页 |
| ·实验研究 | 第23-26页 |
| ·实验方案 | 第23页 |
| ·真空建立 | 第23-24页 |
| ·氩离子溅射清洗 | 第24页 |
| ·注入与沉积 | 第24-26页 |
| ·性能测试及成分和结构分析 | 第26-27页 |
| ·表面形貌观察 | 第26页 |
| ·硬度分析 | 第26页 |
| ·激光Raman光谱分析 | 第26页 |
| ·X射线光电子能谱（XPS）分析 | 第26-27页 |
| ·傅立叶红外光谱分析（FTIR） | 第27页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 复合处理强化多层膜的制备 | 第28-34页 |
| ·前言 | 第28页 |
| ·负脉冲偏压对摩擦学行为的影响 | 第28-33页 |
| ·负脉冲偏压对注入层的影响 | 第28-31页 |
| ·负脉冲偏压对沉积层的影响 | 第31-32页 |
| ·复合强化处理多层膜结构 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 掺氢DLC膜的摩擦学行为 | 第34-44页 |
| ·前言 | 第34页 |
| ·掺氢DLC膜的结构 | 第34页 |
| ·C_2H_2/H_2流量比对摩擦学行为的影响 | 第34-39页 |
| ·掺氢DLC膜在氮气气氛下摩擦学性能 | 第39页 |
| ·掺氢DLC膜的摩擦学机理 | 第39-41页 |
| ·膜层硬度及膜基结合力对摩擦学性能的影响 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第5章 掺氮DLC膜的摩擦学性能 | 第44-53页 |
| ·前言 | 第44页 |
| ·掺氮DLC膜的成分及结构 | 第44-46页 |
| ·C_2H_2/N_2流量比对摩擦学行为的影响 | 第46-52页 |
| ·C_2H_2/N_2流量比对膜中N含量的影响 | 第46-49页 |
| ·C_2H_2/N_2流量比对膜基结合力影响 | 第49-50页 |
| ·C_2H_2/N_2流量比对膜层硬度的影响 | 第50页 |
| ·C_2H_2/N_2流量比对摩擦系数的影响 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第59页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第59页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
