PT/PZT/PT薄膜微力传感器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·微力传感器的概述及研究现状 | 第10-16页 |
| ·压阻式微力传感器 | 第10-12页 |
| ·电容式微力传感器 | 第12-14页 |
| ·压电式微力传感器 | 第14-16页 |
| ·压电薄膜的结构和特性及制备方法概述 | 第16-20页 |
| ·PZT压电薄膜的结构 | 第16-18页 |
| ·PZT压电薄膜的特性 | 第18-19页 |
| ·PZT压电薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| ·微机械加工技术概述 | 第20-22页 |
| ·体微机械加工技术 | 第21页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第21-22页 |
| ·有限元压电分析 | 第22页 |
| ·本论文的研究内容 | 第22-24页 |
| 2 压电薄膜悬臂梁式微力传感器的ANSYS分析 | 第24-38页 |
| ·单元类型和网格划分 | 第24-25页 |
| ·组成微悬臂梁材料的特性 | 第25-27页 |
| ·微悬臂梁结构尺寸对静态特性的影响 | 第27-31页 |
| ·微悬臂梁长度对输出电压的影响 | 第27页 |
| ·微悬臂梁宽度对输出电压的影响 | 第27-28页 |
| ·硅基底厚度对输出电压的影响 | 第28-29页 |
| ·二氧化硅厚度对输出电压的影响 | 第29页 |
| ·下电极厚度对输出电压的影响 | 第29页 |
| ·PZT厚度对输出电压的影响 | 第29-30页 |
| ·上电极厚度对输出电压的影响 | 第30页 |
| ·微悬臂梁自由端受力对输出电压的影响 | 第30-31页 |
| ·模态分析 | 第31页 |
| ·谐响应分析 | 第31-33页 |
| ·微悬臂梁结构尺寸对动态特性的影响 | 第33-37页 |
| ·微悬臂梁长度对输出电压的影响 | 第33-34页 |
| ·微悬臂梁宽度对输出电压的影响 | 第34页 |
| ·硅基底厚度对输出电压的影响 | 第34-35页 |
| ·二氧化硅厚度对输出电压的影响 | 第35-36页 |
| ·下电极厚度对输出电压的影响 | 第36页 |
| ·PZT厚度对输出电压的影响 | 第36-37页 |
| ·上电极厚度对输出电压的影响 | 第37页 |
| ·本章小节 | 第37-38页 |
| 3 溶胶-凝胶法制备压电薄膜及其性能研究 | 第38-52页 |
| ·实验分析方法及原理 | 第38-40页 |
| ·薄膜的结构和形貌表征技术 | 第38-40页 |
| ·薄膜的电学性质测试技术 | 第40页 |
| ·PZT压电薄膜的制备 | 第40-47页 |
| ·原料试剂及实验设备 | 第40页 |
| ·PZT和PT前驱体溶胶的配制 | 第40-43页 |
| ·PT压电薄膜的制备 | 第43-46页 |
| ·PT/PZT/PT和PZT薄膜的制备 | 第46-47页 |
| ·PZT压电薄膜特性分析 | 第47-51页 |
| ·退火工艺一下的压电薄膜特性分析 | 第47-49页 |
| ·退火工艺二下的压电薄膜特性分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 压电薄膜悬臂梁式微力传感器的制作及性能测试 | 第52-61页 |
| ·微悬臂梁的结构 | 第52页 |
| ·压电薄膜微悬臂梁制作过程 | 第52-53页 |
| ·微力传感器测试系统和测试原理 | 第53-58页 |
| ·微力传感器测试系统 | 第53-56页 |
| ·微力传感器静态测试原理 | 第56-57页 |
| ·微力传感器准静态测试原理 | 第57-58页 |
| ·压电薄膜悬臂梁式微力传感器的性能测试 | 第58-60页 |
| ·微力传感器弹性系数的测量 | 第58-59页 |
| ·微力传感器灵敏度的测量 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
